Den grundläggande principen för magnetronförstoftning

Den grundläggande principen för magnetronförstoftning

Magnetronförstoftning är användningen av magnetfält för att binda elektronernas rörelse, förbättra joniseringshastigheten för elektroner. Jämfört med traditionell förstoftning har den två huvudegenskaper: "låg temperatur (ökar antalet kollisioner, elektronernas energi minskar gradvis och faller först på anoden efter att energin är uttömd)" och "hög hastighet (ökar vägen) av elektronrörelse, förbättring av joniseringshastigheten, jonisering av fler joner som bombarderar målet)".
Grundprincipen att öka förstoftningshastigheten genom magnetfält uppfanns av Penning för mer än 60 år sedan och utvecklades senare av Kay och andra, vilket ledde till utvecklingen av sputterpistoler och cylindriska magnetfältkällor. Plana magnetostrukturer introducerades i Chapin 1979.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com