PECVD-utrustning Vanliga problem och behandlingsåtgärder-fel att glöda
Jul 01, 2023| Orsaker och behandlingsåtgärder för att inte glöda:
(1) Om RF-strömförsörjningen är felaktig, kontrollera om uteffekten från RF-källan är normal.
(2) Reaktionsgasintagsvolymen är liten, kontrollera om gasflödesmätaren är normal, om normal, öka intagsvolymen för test.
(3) renheten hos kavitetsplattan räcker inte, använd en multimeter för att mäta jordmotståndet för de övre och nedre plattorna i kaviteten, normalvärdet bör vara över tiotals megaohm, om det är onormalt, rengör kavitetsplattan.
(4) Om RF-matchningskretsen är felaktig, kontrollera om RF-källans reflekterade effekt ligger inom det normala området. Om det är onormalt, kontrollera om kondensatorn och induktansen i matchningskretsen är skadade.
(5) Vakuumgraden är för dålig, kontrollera om vakuumgraden i kaviteten är normal.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com
