PECVD automatiskt vakuumdeponeringssystem

Deponeringssystemet består av radiofrekvent strömförsörjning, vattenkylningssystem och substratuppvärmningsanordning. Det är en central del av PECVD. RF-strömförsörjningens funktion är att jonisera reaktionsgasen. Vattenkylningssystemet tillhandahåller huvudsakligen kylning för den mekaniska pumpen, Roots-pumpen, torrpumpen, molekylpumpen etc. i PECVD-systemet. När vattentemperaturen överstiger den erforderliga temperaturen för pumpkroppen kommer den att skicka en larmsignal. Isoleringsmaterial som plaströr bör användas för att kyla vattenrör, och metallrör bör inte användas. Substratuppvärmningsanordningens funktion är att värma provet till den nödvändiga temperaturen för processen, avlägsna föroreningar såsom vattenånga på provet och förbättra vidhäftningen mellan filmen och provet.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com