Allmänt kunskap om vakuumpump

Allmän kunskap om vakuumpump

1. Metoden för att erhålla vakuum

Utrustningen som kan tömma gas från den slutna behållaren eller minska antalet gasmolekyler i behållaren kallas vakuumuppsamlingsutrustning eller vakuumpump. För närvarande har olika metoder använts i vakuumteknik för att erhålla och mäta tryck som sträcker sig från 105Pa till 10-13pa, upp till 18 storleksordningar. Självklart är det mycket svårt att erhålla gastillståndet i ett så stort lågtrycksutrymme med endast en slags vakuumpump.

I tekniken för vakuumförvärv finns det två sätt att få vakuumet för närvarande. En är att ladda gasen direkt från den slutna behållaren genom rörelse av en viss mekanism. Den andra är att adsorbera eller kondensera gasmolekylerna på ytan med låg temperatur genom fysiska och kemiska metoder. Det finns många typer av vakuumpumpar tillverkade av dessa två metoder, och klassificeringsmetoderna är olika. Den vanligaste metoden är emellertid att klassificera vakuumpumparna enligt deras arbetsprinciper eller strukturella egenskaper. Detta kommer att beskrivas i nästa avsnitt.

2. Klassificering av vakuumpumpar

Enligt vakuumpumpens arbetsprincip kan vakuumpumpen i grund och botten uppdelas i två typer, det vill säga gasöverföringspump och gaspump. Som vakuum applikationsteknik inom området för produktion och vetenskaplig forskning till kraven i tillämpningen omfattningen av trycket är mer och mer bred, mestadels behöver består av flera gemensamma efter extraktion av vakuumpump vakuumuttag systemet kan uppfylla kraven för produktion och vetenskapliga forskningsprocessen, så välj olika typer av vakuumpump i vakuumpumpens sugförhållanden mer. För enkelhets skull är det nödvändigt att klassificera dessa pumpar i detalj enligt deras arbetsprinciper eller deras strukturella egenskaper. Det beskrivs som följer:

(1) Gasöverföringspump

Gasöverföringspump är en slags vakuumpump som kan göra gasen kontinuerligt inandad och urladdad för att uppnå syftet med pumpning. Det finns i princip två typer av denna pump:

1) vakuumpump med variabel volym

Variabel kapacitansvakuumpump är en slags vakuumpump som ANVÄNDER den periodiska förändringen av pumpkammarens volym för att slutföra sug- och avgasprocessen. Gasen komprimeras innan den utvisas. Denna pump är indelad i fram och återgående två typer:

(1) fram och återgående vakuumpump: är användningen av pumphålighetskolvens fram- och återgående rörelse, gasinhalation, kompression och ut. Därför, även känd som kolvvakuumpump.

Den roterande vakuumpumpen: Används av pumpkammarens kolv för att göra rotationsrörelse, gasinhalation, kompression och ut. Rotationsvakuumpumpen har följande typer:

  Oljetätning vakuumpump: Det är användningen av oljetätning mellan de rörliga delarna av luckan, reducera det skadliga utrymmet hos en roterbar vakuumpump med variabel kapacitet. Denna pump är vanligtvis utrustad med air ballast-enhet, det är också känt som luftballast vakuumpump. Enligt dess strukturella egenskaper är de uppdelade i följande fem typer.

A) Vakuumpumpe med rotervatten: Rotor med viss excentricitet installerad i pumpskalet och pumphuset på ytan på den fasta ytan nära rotorns slits är utrustad med två eller flera roterblad, kan när rotorns roterande rotervinda längs sin radiella slits fram och återgående glidning och kontakt med pumphusets vägg alltid rotationsskoveln med rotortrotation, kan pumpkaviteten delas upp i flera variabla förskjutningar.

B) Vakuumpump för glidventil: En glidventil är installerad utanför den excentriska rotorn. Rotorn roterar för att driva glidventilen för att glida och rulla längs pumphusets innervägg. Glidventilstången på glidventilens övre del kan glida i svängningsventilstyrningen och pumpkammaren är uppdelad i två variabla volymer.

C) Statorskovelvakumpump: En excentrisk rotor som ligger nära pumpens inre yta är installerad i pumpskalet och en radiell glidskena som alltid står i kontakt med rotorns yta är installerad på pumpskalet. När rotorn roterar kan glidbladen röra sig upp och ner för att dela pumpkammaren i två variabla volymer.

D) Trochoidal vakuumpump: excentrisk utrustad med en trochoidal rotor i pumpkammaren, roterar den längs pumpkammarens innervägg och delar pumpkammaren i två variabla volymer.

E) Multikammare rotervattensugpump: Flerventuella studior Rotationsvattenspumppumpar drivna av samma motor är anordnade parallellt i ett pumphus.

(2) Torr vakuumpump: Det är en icke-oljig (eller flytande) förseglad volymvakuumpump.

(3) Vätskekylvsugpump: med många blad av rotorn excentrisk installerad i pumphuset, när det roterades, bildade vätskan (vanligtvis vatten eller olja) i koncentratvätskan, pumpen och rotorbladet ett par små volymvolymen förändras, kallas det även rotationsvariabel vakuumpump.

(4) vakuumpump med rötter: Pump utrustad med två motsatta riktningar för synkron rotation av dubbelbladsformen eller den flervalsformade rotorn, mellan rotorn, rotorn och pumpskalvväggen hålls mellan ett visst gap. Den hör till roterande vakuumpump. Mekanisk boosterpump är denna typ av vakuumpump.

2) momentumöverföringspump

Pumpen är beroende av höghastighets roterande blad eller höghastighetsstrålar för att överföra momentum till gas- eller gasmolekylerna, så att gasen kontinuerligt från pumpen kommer in i utloppet. Specifik kan delas in i följande typer.

(1) molekylvakuumpump: det är användningen av höghastighets roterande rotor-energiöverföring till gasmolekylerna, så att komprimeringen, avgaser en vakuumpump. Den finns i följande typer:

Traktionsmolekylpump: gasmolekyler och höghastighetsrörelse av rotorkollisionen och få fart, skickades till exporten, är därför en typ av momentumöverföringspump.

(2) turbinmolekylpump: pump med riven skiva eller rotor med blad, i statorskivan (eller statorns rotation). Den linjära hastigheten av rotorns omkrets är mycket hög. Pumpen arbetar normalt i ett molekylärt flödes tillstånd.

(3) föreningens molekylpump: det är en kombination av en molekylär vakuumpump med turbin och dragkraft typ två med molekylpumpserier.

Jet-vakuumpumpen: Det är en typ av momentumöverföringspump som utnyttjar Venturi-effekttryckfallet för att producera höghastighetsstråle för att transportera gas till utloppet, lämplig för att arbeta i visköst flöde och övergångsströmmande tillstånd. Denna pump kan delas in i följande i detalj:

Vätskeinsprutningsvakuumpump: Till vätska (vanligtvis vatten) som arbetsmedium i injektionsvakuumpumpen.

(2) vakuumpump för gasinjektion: icke kondenserbar gas som arbetsmedium i injektionsvakuumpumpen.

(3) Damminjektionsvakuumpump: Till ånga (vatten, olja eller kvicksilver och annan ånga) som arbetsmedium i injektionsvakuumpumpen.

Diffusionspump är lågtryckshastighetsdammflöde (olja eller kvicksilverånga) som strålvakuumpumpens arbetsmedium. Gassens molekyler diffunderar i ångströmmen och skickas till utloppet. Gasens molekylära densitet är alltid mycket låg i jetflödet. Kan delas in i:

(1) Självreningsdiffusionspump: Flyktiga flyktiga föroreningar genom speciell mekanisk överföring till exporten och inte tillbaka till pannan i en oljediffusionspump.

(2) diffusionspump av fraktioneringstyp: den här pumpen har en fraktionsanordning så att ångtrycket är lågt arbetande vätskedamp i högvakuumdysan och ångtrycket är högt arbetande vätskedamp i lågvakuumdysan, det är en flerstegs oljediffusionspump.

Diffusionstrålpump: Det är en momentumöverföringspump som består av ett enstegs- eller flerstegsmunstycke med diffusionspumpens egenskaper och ett enstegs- eller flerstegsmunstycke med strålvakuumpumpegenskaper i serie. Oljepumppump är av denna typ.

Ion-överföringspump: det är en momentumöverföringspump som överför joniserad gas till utloppet under verkan av elektromagnetiska fält eller elektriska fält.

2. Gaspump

Denna pump är adsorption eller kondensering av gasmolekyler på pumpens inre yta, vilket minskar antalet gasmolekyler i behållaren för att uppnå syftet att pumpa vakuumpumpen, det finns följande typer.

1) adsorptionspump

Det beror huvudsakligen på den stora ytan av adsorbenten (såsom poröst material) av den fysikaliska adsorptionen för att pumpa en typ av uppsamlingsvakuumpump.

2) getter pump

Det är en vakuumpump som USES getter för att fånga gas genom kemisk kombination. En metall eller legering vanligtvis i form av en klump eller deponerad ny film. Sublimeringspumpen är av denna typ.

3) getterjonpump

Det är att göra den joniserade gasen genom verkan av elektromagnetiskt fält eller elektrisk fältadsorption på ytan av materialet har inandat för att uppnå syftet att pumpa gas. Den finns i flera former enligt följande.

Evaporativ jonpump: en vakuumpump där joniserad gas adsorberas på ett sugmaterial som sublimeras (eller indunstas) på ett diskontinuerligt eller kontinuerligt sätt och täcks av pumpens innervägg för att uppnå sugning.

Sputtering-jonpumpen: pumpen är joniserad gasadsorption genom katoden kontinuerlig sputtering ur gettermaterialet för att uppnå syftet med en vakuumpump.

Lågtemperaturpump

En vakuumpump som ANVÄNDER en låg temperatur yta för att fälla gas

3. Dammsugpumpens prestanda parametrar och användningsområde

Prestanda parametrar för vakuumpumpen

1) Ultimat tryck av vakuumpumpen

Pumpens ultimata tryckaggregat är Pa, som refererar till det lägsta stabila trycket när pumpen är utrustad med ett standardtestskydd vid ingången och arbetar under specifika förhållanden utan att införa gas för normal drift.

2) Vakuumpumpens extraktionshastighet

Pumpens pumphastighetsenhet är m3 / s eller l / s, som refererar till förhållandet mellan gasflödet genom provkåpan och jämviktstrycket mätt vid provutskottets angivna läge när pumpen är utrustad med en standard testlocket och fungerar under angivna förhållanden. Pumpens hastighet.

3) Vakuumpumpens extraktionskapacitet

Vakuumpumpens extraktionskapacitet är Pa m3 / s eller Pa l / s. Avser pumpens inloppsgasflöde.

4) starttryck i vakuumpumpen

Vakuumpumpens starttryck är Pa, vilket avser trycket när pumpen startas utan skada och medför pumpning.

5) Pumpens förstadietryck

Vakuumpumptrycksenheten är Pa, den avser utloppstrycket mindre än en atmosfär av vakuumpumpens utloppstryck.

6) Vakuumpumpens maximala tryck före trycket

Den maximala förtrycksenheten hos vakuumpumpporten är Pa, vilket avser trycket över det förtryck som kan skada pumpen.

7) maximalt arbetstryck i vakuumpumpen

Den maximala arbetstrycksenheten hos en vakuumpump är Pa, vilket avser inloppstrycket som motsvarar den maximala luftpumpens maximala mängd. Vid detta tryck kan pumpen fortsätta att arbeta utan försämring eller skada.

8) kompressionsförhållande

Kompressionsförhållandet är förhållandet mellan pumpens utloppstryck och inloppstrycket för en given gas.

9) ho-koefficienten

Förhållandet mellan den aktuella pumphastigheten på pumpkanalens område och den teoretiska pumphastigheten beräknad på basis av molekylär effusion.

10) pumphastighetskoefficient

Förhållandet mellan pumpens aktuella pumphastighet och den teoretiska pumphastigheten beräknad genom molekylär effusion vid pumpinloppet.

11) återflödeshastighet

Pumpens återflödeshastighet är g / cm2.s. Det är att peka på när pumpen arbetar enligt formulärtillståndet, massflödet som passerar pumpens inloppsarea.

12) tillåten mängd vattenånga

Den tillåtna enheten för vattenånga är kg / h, som refererar till massflödet av vattenånga som kan avlägsnas av luftkylpumpen under kontinuerlig drift under normala förhållanden.

13) maximalt tillåtet ångintryckstryck

Den maximala tillåtna enheten för ånginloppstryck är Pa. Den avser det maximala inloppstrycket för vattenånga som kan avlägsnas av ballastpumpen under kontinuerlig drift under normala miljöförhållanden.

4. Användningsområde för vakuumpump

Eftersom alla typer av vakuumpumpar har olika arbetstrycksområden och starttryck, måste valet av vakuumpump uppfylla dessa krav. Tabell 3-1 visar arbetstrycksområdet och starttrycket hos olika vanliga vakuumpumpar för referens.

Tabell 3-1 arbetstrycksområde och starttryck hos vanliga vakuumpumpar

5. Vakuumpumpens uppgift i vakuumsystem

Eftersom prestanda av alla typer av vakuumpumpar kan möta den gemensamma punkten att dammsuga behållaren, finns det fortfarande skillnader. Därför är det mycket viktigt att klara arbetsuppgifterna för pumpen i vakuumsystemet. Pumpens funktioner i olika arbetsfält kan sammanfattas enligt följande

1) huvudpump i systemet

Den så kallade huvudpumpen är vakuumpumpen som dammsuger vakuumsystemet som pumpas av kärlet för att erhålla vakuumgraden som behövs för att uppfylla de tekniska kraven.

2) grov pumppump

Råpumpen refererar till vakuumsystemet från atmosfärstryck för att minska trycket från ett annat pumpsystem kan börja arbeta vakuumpump.

3) framstegspump

Frontpump är en vakuumpump som används för att hålla trycket på framsidan av en annan pump under det maximala tillåtna trycket

4) underhållspump

Underhållspumpen hänvisar till när vakuumpumpens pumpning är väldigt liten, kan inte effektivt använda huvudpumpen. För detta ändamål, i vakuumsystemet med en mindre pumphastighet hos den extra frontpumpen för att upprätthålla den normala driften av huvudpumpen eller upprätthålla vakuumpumpen har evakuerats behövdes behållaren lågt tryck.

5) grov vakuumpump eller lågvakuumpump

Grov och lågvakuumpump avser vakuumpumpen som arbetar i lågvakuum eller grovt vakuumtrycksområde efter att ha börjat från atmosfären och reducerar trycket i den pumpade behållaren.

6) högvakuumpump

Högvakuumpump avser vakuumpumpen som arbetar i högvakuumområdet.

7) ultra högvakuumpump

Ultra högvakuumpump avser vakuumpumpen som arbetar inom ultrahögvakuumområdet.

8) booster pump

Boosterpumpen brukar referera till arbetet mellan lågvakuumpumpen och högvakuumpumpen för att förbättra pumpsystemet i mellantryckområdet eller minska pumphastigheten för kraven på framstegs pumpens vakuumpump.

6. Vakuumpumpmodeller och specifikationer för metoden för representation

Enligt den mekaniska industristandarden JB / T7673-95 i Folkrepubliken Kina är olika inhemska vakuumpumpar uppbyggda av två delar: grundläggande typ och hjälptyp med en horisontell linje mellan dem. Expressionsmönstret är 123 - 456. Antalet 123 anger grundmodellen och 456 indikerar hjälpmodellen.

Inhemska vakuumpumpmodeller representeras vanligtvis av det kinesiska fonetiska alfabetet i tabell 3-2. Om pinyinbokstaven framför ordet "2" betyder det att pumpen i strukturen i tvåstegs pumpen.

Vissa serier vakuumpumpar har en geometrisk klass för sin extraktionshastighet. Enheterna är L / S. Det finns 18 grader, 0,2, 0,5, 1, 2, 4, 8, 15, 30, 70, 150, 300, 600, 1200, 2500, 5000, 10000, 2000, 40000. Vakuumpumpserier uttrycks ibland i termer av Pumpinloppsdimensionerna i "mm". Som fler typer av pumpar, bör urvalet hänvisa till olika tillverkare av produktspecifikationer, är mycket viktigt.

Tabell 3-2 Kinesiska pinyinkoder och namn på vanliga vakuumpumpar

IKS PVD, vi har det professionella laget att utforma vakuumpumpens layout av PVD-vakuumbeläggningsmaskin, kontakta oss nu, iks.pvd @ foxmail.com