Electron Beam Avdunstningsbeläggningsutrustning
EB PVD optisk beläggningsmaskin, applikationer: Glasögon, reflektionsspegel, bakplatta för mobiltelefon, skyddskåpa, optisk kommunikation, optisk bildskärm, etc.
- produkt introduktion
IKS-OPT2700 Electron Beam Förångnings Optisk Beläggningsmaskin
l Användningsområden:
Glasögon, reflektionsspegel, bakplatta för mobiltelefon, skyddskåpa, optisk kommunikation, optisk bildskärm, etc.
l Utrustning Kort
IKS-OPT2700 är utformad för stor yta optisk filmbeläggning, Det är elektronstråleavdunstningsbeläggningsmaskin. Beläggningsmaskinsystemet består av vakuumkammare, vakuumpump, vakuumdetektering och kontroll, substratvärmesystem, elektronstråleavdunstningssystem, jonkälla assisterat deponeringssystem, motståndsavdunstningssystem, filmtjocklekövervakningssystem, arbetsgasvolymflödesstyrsystem, arbete stycke rotationssystem och automatisk beläggning styrd av PLC.
Förångningsmaterialet används vanligtvis av sällsynta metaller, såsom yttriumfluorid, praseodymfluorid, germanium, zinksulfid, magnesiumfluorid, titandioxid, kiseldioxid, zirkoniumoxid, kobolt, gallium, selen och andra metaller. Koppar, molybden, kisel, germanium och andra metaller används vanligtvis i det optiska materialet av reflektorer.
Den kan belägga synlig ljusfärgfilm, aluminiumreflekterande film, AF-fingeravtrycksfilm, organisk film med låg smältpunkt, synlig ljusspektroskopisk film, synlig ljusreflektionsfilm, etc.
l Utrustningens egenskaper
IKS-OPT2700 optisk filmbeläggningssystem med stor yta, med optimering av vakuumkammarstrukturen, innovativ kryogenpumplayout, stabil rotationsram för arbetsstycke, avancerat elektronstråleavdunstningssystem, justerbar likformighetsjusteringsanordning och humaniserad automatisk beläggningsprocesskontroll för att uppnå en stabil vakuumprocessmiljö, erhållen den bästa beläggningsprocessen, har högkvalitativa belagda produkter.
1. Kammarstorlek; Ф2700 × H1670 | 8. Golvyta: L6 × W5.5 × H3.5m |
2. Vakuumgrad: Ultimat vakuum: 6 × 10 -4 Pa ( Ej last i 24 timmar utan uppvärmning ) | 9.Vikt: 8000 kg, Golvvikt > 1000 kg / m2 |
3. Läckhastighet: 4 × 10 -3 Pa × L / S (Helium läckage kontroll) | 10. Temperatur: Vid rumstemperatur till 250 ° C , temperaturen enhetlighet ± 5% |
4. Arbetsvakuum: 6 × 10 -3 Pa ( Automatisk processstart ) | 11. Strömförsörjning: Trefas, 380V , 50Hz , 60-100KW |
12. Vattenkylning: Kammarflöde > 4000L / H , pumpflöde > 1800L / H, kylkompressor > 1600L / H | |
6. Högvakuum: 6 minuter 8 × 10 -3 Pa | 13.Varmvatten: Förångningskälla1800L / H, 35-60 ° C |
7. Vakuummätning: Hela processövervakning och realtidspunkering |
l Tekniska parametrar
Övervakning av filmtjocklek
| 1.PLC integrerad kontroll 2. Finfilmavsättning, 0.01nm / s 3. Snabbmått motsvarande, koppling med elektronpistol |
Flödeskontroll | Kontrollområde: 3 ~ 100sccm , 5-500sccm, Exakt koppling med jonkälla, synkron styrning, flödesstyrning, Stabil utgång, stabil jon energi är stabil |
E-strålkälla | Typ: 10KW, 270 graders avböjning. Rippel mindre än 0,5%, exakt kontrollpunktsform och -storlek, systemstyrd driftstabilitet och hög noggrannhet. Pistoltyp: Tungstenfilament, hållbar typ |
Motståndsförångningskälla | Typ: Tungsten båt avdunstar genom uppvärmning. Antal: Två uppsättningar elektroder, välj installation. Lämplig för speciell beläggning, syftar till funktionsmaterial eller metallmaterial för att uppnå evaporationsfunktionen |
Jonkälla | Typ: 4KW Halljonkälla, strålkastare, vidvinkel Divergens, avtagbar anod, underhåll och rengöring är mycket enkel |
Kontrollsystem | PC-gränssnitt: 17inch, 1set. TP-pekskärm: 15 omcjes.1set. Huvudsystem: IKS Automatisk programmerbar logikkontroll. Automatiskt processtyrsystem som utvecklats av IKS PVD, Det är ett intelligent operativsystem för realtidsinspelning av processer och återkoppling av fel. Perfekt integration, humaniserad design och uppfylla de personliga behoven , för att ge säker och intelligent design av operationssystemet, exakt kontroll av driften. |
Säker design | Huvudströmbrytare, markskydd, Komponentabnormal larm, Systemoperation i realtidsövervakningsskydd |
l Produktöverlägsenhet
Teknisk innovation
1. Rimlig integration av produkter och tekniska innovationsresultat, förbättra processmiljön, för att uppnå en stabil drift av beläggningssystemet!
2. Produktstruktur design innovation är rimligt, fast, koncist, underhåll är bekvämt! (användarställning design!)
3. Drift och operativsystem innovation utveckling, enkel drift, effektiv och praktisk!
4. Produkter och process teknik för att uppnå högkvalitativ beläggning process, förbättra effektivitet, enhetlighet, utmärkt repeterbarhet!
5. Uppnå intelligent kontroll över beläggningssystemets funktion!
6. Optimering av säkerhetssystem, felprompt, detaljerad lösningslösning!
7. Hög effektivitet, produktion och förvaltning kostnadsreduktion!
Teknisk funktion
1. Produktdesign, genom perfekt IKS-teknik och produktprestanda, sömlös dockningsintegration, för att skapa pålitlig, stabil
Fast, säkert, intelligent beläggningssystem!
2. Vakuum förvärv, återoptimerad design av vakuumuppsamlingssystemet, för att möta den snabba och stabila vakuummiljön!
3. Förångningskälla och jonkälla, rimlig layout och högkvalitativ bearbetningsteknik, driftsättningsteknik, för att uppnå processen
Process automatisk justering, elektronstråle innovativ struktur och exakt sats garanti material deposition mer exakt och stabil!
4. Automatiskt styrsystem, den nya utvecklingen av korrekt och stabilt system! Enkel installation, enkel åtgärd!
Belagd produkt
Populära Taggar: elektronstråleavdunstning beläggningsutrustning, Kina, tillverkare, leverantörer, köp, skräddarsydda, gjorda i Kina
