Allmänt användningsflödesregulator - MKS 1179C
1179C är en universalflödesregulator avsedd att mäta och styra flödet av gaser i en mängd olika applikationer. 1179 massflödesstyrenheterna är tillgängliga med fullskaliga intervall från 10 sccm till 20 slm, vilket ger snabb, repeterbar flödesreglering till så låg som ...
- produkt introduktion
INTRODUKTION
1179C är en universalflödesregulator avsedd att mäta och styra flödet av gaser i en mängd olika applikationer. 1179-massflödesregulatorerna är tillgängliga med fullskaliga intervall från 10 sccm till 20 slm, vilket ger snabb, repeterbar flödesreglering till så låg som 0,2 sccm. Den kan även användas som tryckregulator när den är ansluten till en lämplig tryckgivare.
1179C är en ersättningsfunktion som ersätter de vanligaste MFC-enheterna på marknaden idag. Med standard 3-tums fotavtryck kan 1179C släppas direkt i samma utrymme utan att ändra befintliga gasledningar. Elektriska kontakter är samma typ "D" -kontakter, med samma pin-outs, signaler, och fungerar som sina industrins motsvarigheter, så ingen kabeldragning eller anslutning krävs. 1179C är kompatibel med MFC-strömförsörjning och displayelektronik från MKS eller andra tillverkare.
FUNKTIONER
◆ Patenterad 1 sensorteknik ger exceptionell nollstabilitet
◆ Fullskala flöde varierar från 10 sccm till 20 slm för exakt och repeterbar flödesmätning och -kontroll
◆ Procent av fullskalningsnoggrannhet för analoga konfigurationer
◆ Snabb uppvärmningstid minimerar dyra produktionsstopp
◆ Kompatibel med tidigare MKS MFC och strömförsörjnings / avläsningsmoduler
◆ Rigorös design och testning inkluderar MTBF-analys och STRIFE-testning för att säkerställa långsiktig prestanda
◆ Ytbehandling av fuktiga rostfria ytor, renrumsbehandling och minimal användning av elastomertätningar möjliggör användning vid krävande rena processer
◆ Två års garanti garanterar kvalitet och kundnöjdhet
STRUKTURERA
Ett tvärsnittschema över en 1179C Mass-Flo Controller
Flödesnoggrannhet och repeterbarhet
Ovanstående diagram visar den typiska flödesnoggrannheten och repeterbarheten hos analog-MFC i 1179C-familjen. Mätningar gjordes med hjälp av MKS Instruments Califlow ® Primär Standard Flödes Kalibrator under en 10-dagarsperiod.
Nollstabilitet
Ovanstående diagram visar den utmärkta noll- och spänningsstabiliteten hos 1179C-sensorn som används i 1179-familjen. Instrumentet slogs på och slumpmässigt testades för noll- och spänningsdrift över en 19 månadersperiod.
SPECIFIKATION
| Fullskaliga områden (N 2 ekvivalent) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Maximalt inloppstryck | 150 psig | |
Normal driftstryck Differentiell (med atmosfäriska tryck vid MFC-uttaget) | 10 till 5000 sccm | 10 till 40 psidor |
| 10000 till 30000 sccm | 15 till 40 psidor | |
| Kontrollområde | 2% till 100% av FS | |
Noggrannhet (analog) (inklusive icke-linearitet, hysteres och icke-repeterbarhet refererad till 760 mmHg och 0 ° C) | ± 1,0% av FS | |
| repeterbarhet | ± 0,2% av FS | |
| Upplösning | 0,1% av FS | |
| Temperaturkoefficienter | Noll | <0,05% fs="" °=""> |
| Spänna | <0,08% av="" rdg./=""> | |
| Uppvärmningstid (till inom 0,2% av FS med stabilitet) | <2> | |
| Controller Settling Time (per SEMI Guideline E17-91) | <2> | |
| Tryckkoefficient | <0,02% av=""> | |
| Normal driftstemperaturområde | 0 ° C till 50 ° C | |
| Ingångsspänning krävs | Max. ström vid start (första 2 sek) | ± 15 VDC (± 5%) @ 200 mA |
| Typisk ström vid steady state | ± 15 VDC (± 5%) @ 100 mA | |
| Set Point Command Signal | 0 till 5 VDC från <20k> | |
| Utgångssignal | 0 till 5 VDC till> 10K Ω | |
| Output Impedance | <1> | |
Connector Typer analog | 9-pin eller 15-pin typ "D" (Den 15-poliga typen "D" -kontakten är elektronisk kompatibel med andra MKS-flödesregulatorer . Kontakta Application Engineering för detaljer.) | |
| Wetted Materials | Standard | 316L SS, Viton®, nickel |
| Valfritt (tätningar och ventilsäte) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez® | |
| Läckageintegritet | Extern (scc / sek He) | <1 x="" 10=""> |
| Genom sluten ventil | <1,0% fs="" vid="" 40="" psig="" inlopp="" till=""> e (För att säkerställa ingen genomströmning rekommenderas en separat positiv avstängningsventil.) | |
| Fittings (kompatibel med) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| efterlevnad | CE | |
DIMENSIONALT RITNING
Obs! Om inte annat anges, är dimensionerna nominella värden i tum (mm refererad).
Populära Taggar: generaldirektörsflödesregulator - MKS 1179c, Kina, tillverkare, leverantörer, köp, skräddarsydda, gjorda i Kina
