Vad är strukturen i vakuumbeläggningsutrustning
Nov 08, 2017| Vakuumbeläggningsutrustning är den mest använda utrustningen för att skapa dammförhållanden. Det används ofta. Idag kan vårt liv inte separeras från det. Idag ser vi sin struktur och arbetsprincip.
Vakuumhålrum i huvudkroppen
Enligt kraven i olika produkter, kamrar av olika storlekar, nu med en maximal diameter av 1,3 M, applicering av 0,9M, 1,5M, 1,8M etc., är kammaren bestående av rostfritt stål, inte rost, fast, varje del av vakuumkammaren är ansluten till ventilen som används för att ansluta sugpumpen.
Två. Filmbildningsstyrsystem
Det finns många applikationsmetoder för tunnfilmskärm i vakuumbeläggningsmaskin, såsom visuell övervakningsmetod, fastvärdesövervakning, kristalloscillationsövervakning, tidsövervakning och så vidare.
Tre. Extra pumpsystem
Avgassystemet använder "diffusionspump + mekanisk pump + rotationspump + kryogen kallfälla + polycold" -komposition.
Fyra. Avdunstningssystem
Avdunstningssystemet hänför sig huvudsakligen till den filmbildande anordningen, och beläggningsmaskinen har många filmbildande anordningar, såsom resistansuppvärmning, elektronsprutindunstning, magnetronspruttering, RF-sputtering, jonplätering och andra sätt.
En komplett vakuumbeläggningsmaskin består av ett antal system, varje system kan utföra olika funktioner, det är dessa strukturer, den slutliga realiseringen av högkvalitativ beläggning.