Vakuumgasflödesreglerande element

i princip vakuumgasflödesreglerande element, den allmänna manuella vakuumregulatorn, med rätt styrmotor (såsom servomotor, stegmotor etc.) eller hydraulcylinder, genom att justera styrsignalen för styrmotor eller hydraulcylinder, styrmotorn eller hydraulisk cylinderrörelse, och omvandla vakuumventilens flödeskonduktivitet, ändrade sedan gasflödet genom vakuumventilen, slutför vakuumgraden av vakuumkammaren i vakuumanordning för automatisk justering. För närvarande finns det dock bara tre typer av vakuumgasflödesreglerventiler som produceras av tillverkare av vakuuminstrument i Kina: elektromagnetisk flödesreglerventil, massflödesmätarventil och piezoelektrisk flödesreglerventil, och inhemska tryckregleringsanordningar väljer oftast piezoelektrisk ventil som vakuumgas flödeskontrollelement. Piezoelektrisk ventil är en vakuumgasflödeskontrollventil gjord av piezoelektrisk effekt. Kärnan i den piezoelektriska ventilen är ett piezoelektriskt membran tillverkat av piezoelektrisk keramik. När en styrspänning appliceras på ett piezoelektriskt keramiskt membran alstrar den en deformation som är proportionell mot värdet på den applicerade spänningen. Kör samtidigt packningen för att röra sig. Därefter ändras flödesstyrningen för den piezoelektriska ventilen och ändrar därmed gasflödet genom den piezoelektriska ventilen. När styrspänningen inte appliceras på det piezoelektriska keramiska membranet, VIRKAR fjäderns mekaniska kraft på det piezoelektriska keramiska membranet och tätningspackningen, så att den piezoelektriska ventilens luftväg är stängd. Således kan gasflödet genom den piezoelektriska ventilen ändras genom att ändra storleken på den styrspänning som appliceras på det piezoelektriska keramiska membranet. Sålunda kan vakuumgraden i vakuumanordningens vakuumkammare justeras.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, optisk beläggning mahcine, PVD vakuum coting line.Kontakta oss nu, E-post: iks.pvd@foxmail.com