Den hastighet med vilken jonpumpen pumpar väte
Sep 15, 2023| Den hastighet med vilken jonpumpen pumpar väte
Jonpumpen pumpar vätgasen i mycket hög hastighet, främst för att vätgasen kan diffundera djupare in i katoden och är svår att släppa ut vid efterföljande jonbombardement. Dessutom är diffusionen av väte i titanmaterial mycket hög, så det kan anses att när man pumpar väte, arbetar jonpumpen alltid i ett omättat tillstånd. Samma jonpump kan pumpa väte mer än dubbelt så snabbt som kväve vid samma tryck.
Bild 2 - Pumphastighet för diod och StarCell jonpump för väte
Molekylvikten för väte är mycket liten, och förstoftningshastigheten (förstoftningsutbytet) är mycket låg, så när jonpumpen arbetar vid mycket lågt tryck, om gaskällan huvudsakligen är väte, kommer det färska katodmaterialet som sputteras att vara mycket litet och sannolikheten för att väte förbrukas vid reaktion med det är relativt låg. Men om den pumpade gasen innehåller andra tyngre gaser kommer förstoftningshastigheten att öka i motsvarande grad och en högre pumphastighet för väte produceras.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com