Principen för PVD-vakuumbeläggningsteknik

Principen för PVD vakuumbeläggningsteknik
Physical Vapor Deposition (PVD) hänvisar till fysisk ångdeposition, som består av vakuumångdeposition, vakuumförstoftningsdeposition och vakuumjondeposition. Vi brukar säga PVD-beläggning, hänvisar till vakuumjonbeläggning och vakuumförstoftningsplätering; Generellt sett hänvisar NCVM-beläggning till vakuumförångningsbeläggning. Grundprincipen för vakuumförångning: Under vakuumförhållanden förångas metaller och metallegeringar och avsätts sedan på substratets yta. Förångningsmetoden används vanligtvis genom motståndsvärmning och elektronbombardement av pläteringsmaterialet för att förångas till en gasfas och sedan avsättas på substratytan. Historiskt sett är vakuumförångning den tidigare tekniken som används i PVD-processen. Grundprincipen för förstoftning av beläggningsfilm: under vakuumtillståndet för att fylla (Ar) gas, gasglödsurladdning, sedan joniseras argon (Ar) atomer till kvävejon (Ar), jon under inverkan av elektrisk fältkraft, accelererar bombardemang till katodmål gjord av pläteringsmaterial, kommer målet att sputteras ut och avsättas på arbetsstyckets yta. Infallande joner i förstoftningsbeläggningsfilmen erhålls i allmänhet genom glödurladdning i intervallet 10-2pa~10Pa, så de sputtrade partiklarna är lätta att kollidera med gasmolekyler i vakuumkammaren när de flyger till substratet, så att rörelseriktningen är slumpmässig och den avsatta filmen är lätt att vara enhetlig. Grundprincipen för jonplätering: Under vakuumtillstånd används viss plasmajoniseringsteknik för att partiellt jonisera pläteringsatomerna till joner, och samtidigt producera många neutrala högenergiatomer för att lägga till negativ förspänning på det pläterade substratet. På detta sätt, under inverkan av djup negativ förspänning, avsatte joner på substratytan för att bilda en tunn film.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com