PECVD vakuum- och tryckkontrollsystem

PECVD Vakuum- och tryckkontrollsystem inkluderar mekaniska pumpar, molekylära pumpar, grovextraktionsventiler, främre ventiler, slussventiler, vakuummätare etc. För att minska påverkan av kväve, syre och vattenånga på avsättningsprocessen, är vakuumsystemet generellt sett. antar torr pump och molekylär pump för pumpning, torr pump för pumpning av lågvakuum, jämfört med den vanliga mekaniska oljepumpen, kan undvika olja och gas i oljepumpen in i vakuumkammaren för att förorena substratet. Efter att torrpumpen har pumpats under ett visst tryck, öppnas slussventilen och högvakuumet pumpas med molekylpumpen. Molekylpumpen kännetecknas av stark vakuumpumpningskapacitet, speciellt förmågan att avlägsna vattenånga är mycket stark.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com