PECVD-substrattemperatur
Jul 10, 2023| Substrattemperaturens inverkan på filmens kvalitet ligger främst i den lokala tillståndstätheten, elektronrörligheten och filmens optiska egenskaper. Ökningen av substrattemperaturen är fördelaktig för kompensationen av suspensionsbindningen på filmens yta, och defektdensiteten hos filmen minskar.
Substrattemperaturen har liten effekt på avsättningshastigheten, men stor effekt på filmens kvalitet. Ju högre temperatur, desto större densitet av avsättningsfilmen, desto högre temperatur ökar ytreaktionen och förbättrar filmens sammansättning.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com
