Vanliga problem med PECVD-utrustning - Låg nedfallshastighet
Jul 04, 2023| Vanliga problem med PECVD-utrustning - Låg nedfallshastighet
(1) Om RF-ingångseffekten är olämplig, justera RF-effekten.
(2) Om provets temperatur är onormal, kontrollera om kylvattenflödet och temperaturen är normala.
(3) Vakuumkammarens tryck är lågt, justera processgasflödet.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com
←
Ett par: Föregångare till CVD
Skicka förfrågan