Mätning av trycket

När det gäller att mäta trycket av högt vakuum, ultrahögt vakuum och extremt högt vakuum, är traditionella tryck-/vakuummätare inte lämpliga på grund av den ovan nämnda ventilationseffekten. Istället kan en joniseringsvakuummätare användas för att jonisera några av de gasmolekyler som kommer in i röret och samla dessa joner för att bilda en jonström. Eftersom jonflödet som genereras av de uppmätta gasmolekylerna är proportionellt mot gasens tryck i ett visst tryckområde, kan tryckvärdet för den uppmätta gasen reflekteras genom att mäta storleken på jonflödet.

Enligt de olika joniseringsmetoderna kan joniseringsvakuummätare delas in i tre kategorier: varmkatodjoniseringsvakuummätare (den mest använda), kallkatodjoniseringsvakuummätare och radioaktiv joniseringsvakuummätare. Detta papper introducerar huvudsakligen varmkatod- och kallkatodjoniseringsvakuummätare.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com