Viktiga punkter för inköp av vakuumbeläggningsmaskin
Mar 08, 2018| Följande är huvudpunkterna för inköp av vakuumbeläggningsmaskin:
1. Vakuumsystemet består av en mekanisk pump, diffusionspump, oljepumppump, rotationspump, turbomolekylpump och olika väl anpassade pneumatiska ventiler, manuell ventil, elektriska ventiler, rörledningar och så vidare.
2. Välja beläggningsutrustning i olika specifikationer och typer enligt processkraven, inklusive såsom termisk avdunstning, elektronstråleavdunstning, magnetronutsputtering, magnetronreaktiv sputtering, jonplätering, ihålig katodjonplätering, multibukplätering, etc.
3. Ugnskroppen kan vara rostfritt stål, kolstål eller dubbla lager vattenkylning struktur som gjordes av deras kombination.
4. Klämkörningsläget inklusive rotation, bana-rörelse och rotation + bana-rörelse. Användare kan göra motsvarande krav såsom rotationshastighet, rotationsområde och rotationsnoggrannhet, etc. enligt substratstorleken och formen.
5. Inflatesystem kan vara massflödesmätare, flödesflödesmätare + nålventilmätare och motsvarande laddningsventil, kan användarna också välja flera gasladdningsrörledningar och motsvarande flödesparametrar.
6. Välja beläggningsmetod och beläggningsform enligt processkraven, dammmätningssystem kan vara digital intelligent vakuummätare och mätinstrument av hög kvalitet och andra mätinstrument. Mätningssystem för filmtjocklek kan vara kvadratmätningsmätare, penetrationsmätare och så vidare.
7. Enligt de tillämpade egenskaperna hos utrustningen kan styrsystemet vara manuellt kontrollmetod , halvautomatisk kontrollmetod, helautomatisk kontrollmetod eller en kombination av dem.
8. Perfekt larmsystem som kan ge ljussignal larm för vakuumkammarens kropp, vattenbrist, diffusionspumpfel, lufttryck, överspänning, överströms och andra anomalier.
