Ionplätering
Jun 14, 2018| Principen om jonplätering
Ionplätering avser att använda gasutmatning för att jonisera gaser eller förångade material under vakuumbetingelser. Förångningsmaterial eller deras reaktanter deponeras på arbetsstycket under verkan av jonbombardemang av gasjoner eller förångade material. Ionplätering kan delas in i magnetron-sputtering, jonplätering, reaktiv jonplätering, ihålig katodladdning jonplätering (ihålig katodavdunstning), multibågsplätering (katodbågplätering) och så vidare. Ionplätering kombinerar glödladdning, plasmateknik och vakuumavdunstningsteknik, vilket inte bara förbättrar ytbeläggningen avsevärt, utan ökar också appliceringen av beläggningstekniken kraftigt. Förutom fördelarna med vakuumsprutning har den också fördelarna med stark filmhäftning, god diffraktion, ett brett utbud av material som kan pläteras och så vidare. Grundprincipen för jonplätering är att jonisera ångan av en metall eller legering med hjälp av en glöd- eller bågutmatning av en inert gas. Ionplätering innefattar uppvärmnings-, evaporations- och avsättningsförfarandena hos beläggningsmaterialen (såsom TiN och TiC). Förångade beläggningsmaterialatomer genomgår en liten mängd jonisering när de passerar genom glödregionen och flyger till arbetsstycket under verkan av ett elektriskt fält, det träffar arbetsstyckets yta med energi av flera tusen elektronvolt och kan injiceras i substratet till ett djup av ungefär flera nanometer. Därför förbättras bindningskraften hos beläggningen avsevärt och de icke-joniserade förångade materialatomer sätter direkt på arbetsstycket. Sputtering av inerta gasjoner och beläggningsmaterialjoner på arbetsstyckets yta kan också avlägsna föroreningarna för att förbättra bindningskraften.
Fördelarna med jonplätering
1. Stark diffraktionsförmåga
Vid jonpläteringsprocessen rör partiklarna i det förångande materialet i riktning mot kraftledningen i form av laddade joner i det elektriska fältet. Därför kan varje del där det finns ett elektriskt fält erhålla ett bra pläteringsskikt, vilket är överlägset det vanliga vakuumbeläggningen vid erhållande av pläteringen i direkt riktning. Så, den här metoden är mycket lämplig för beläggningen på innerhålet, spåret och den smala spalten i de pläterade delarna. Normal vakuumbeläggningsmetod kan bara göra att den direkta ytan är belagd. Avdunstningspartiklar kan bara flyttas upp som klättringsstege. Men jonplätering kan jämnt täcka tillbaka delar och inre hål. Laddade joner kan flyga längs föreskrivna rutter någonstans inom sin aktivitetsradie som att sitta på helikoptrarna.
2. Högkvalitativa beläggningar
Den jonbelagda beläggningen är tät, tapphålfri, bubbelfri och enhetlig i tjocklek. Även fasetterna och spåren kan pläteras jämnt utan metallurgi. Delar som gängor kan också pläteras. Denna metod kan också reparera defekter som små sprickor och gropar på arbetsstyckets yta, vilket effektivt kan förbättra ytkvaliteten och de fysikaliska och mekaniska egenskaperna hos de delar som är pläterade. Trötthetstest visar att om arbetsstycket är korrekt hanterat kan arbetsstyckets trötthetstid vara 20% ~ 30% högre än före plätering.
3. Ionplating rengöringsprocessen förenklas
De flesta av de befintliga beläggningsprocesserna kräver strikt rengöring av arbetsstycket i förväg, vilket är komplicerat och dyrt. Emellertid har jonpläteringsprocessen själv en jonbombardrengöringseffekt, och denna effekt fortsätter under hela beläggningsprocessen. Rengöringseffekten är utmärkt, och pläteringen kan bringas direkt i närheten av substratet, vilket effektivt förstärker vidhäftningen och förenklar en stor mängd förpläteringsrengöring.
4. Brett utbud av material kan pläteras
Ionplating metod använder hög energi joner att bombardera arbetsstyckets yta, så att en stor mängd elektrisk energi omvandlas till värmeenergi på ytan av arbetsstycket, varigenom de proliferation kemiska reaktionerna av ytvävnad främjas. Emellertid påverkas hela arbetsstycket, särskilt kärnan i arbetsstycket, inte av höga temperaturer. Därför har denna beläggningsprocess ett större antal applikationer och det är mindre begränsat. I allmänhet kan olika metaller, legeringar och vissa syntetiska material, isoleringsmaterial, värmekänsliga material och material med hög smältpunkt pläteras. Den kan plåta metall eller metall på metallpåsar, eller metall eller andra metaller på arbetsstycke av metall, och även på plast, gummi, kvarts, keramik, etc.
