Inverkan av magnetronförstoftningsprocessparametrar: Deponeringstemperatur

Inverkan av magnetronförstoftningsprocessparametrar: deponeringstemperatur

Deponeringstemperaturen påverkar också de mekaniska egenskaperna hos (Cr,Ti,Al) N kvartära beläggningar. Lin Jing et al. antog pulsad likströmsmagnetronförstoftning och bågjonplätering av kompositdepositionstekniker för att förbereda (Cr, Ti, Al) N kvartära beläggningar vid 300 grader respektive 400 grader [62]. De experimentella resultaten visar att (Cr,Ti,Al) N-beläggningar framställda vid 400 grader uppvisar bättre mekaniska egenskaper och slitstyrka än de som framställts vid 300 grader. Med ökningen av deponeringstemperaturen förbättras atomdiffusionsförmågan, beläggningen är tätare och nitridreaktionen är mer adekvat, så hårdheten hos (Cr,Ti,Al) N-beläggning ökar kraftigt. De experimentella resultaten visar också att med ökningen av beläggningstemperaturen minskas friktionskoefficienten och slitagehastigheten för beläggningen, och beläggningsverktygets skärlivslängd ökas. Detta beror på att beläggningens hårdhet ökar med ökningen av avsättningstemperaturen. Enligt Archards teori är beläggningens friktionsfaktor omvänt proportionell mot hårdheten, så beläggningens friktionsfaktor reduceras. Dessutom, när avsättningstemperaturen är hög, har beläggningen starkare motstånd mot elastisk deformation och plastisk deformation och bättre motståndskraft mot skador, så det är inte lätt att spricka under friktionsprocessen, vilket bidrar till att minska slitagehastigheten på beläggning. Beläggningen beredd vid 400 grader har högre hårdhet och seghet och lägre friktionsfaktor, vilket bidrar till att förlänga verktygets skärlivslängd.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com