Jämförelse av egenskaper för glödurladdning och ljusbågsurladdning

Jämförelse av glödurladdning och ljusbågsurladdningsegenskaper

Tabell 3 visar jämförelsen av urladdningsegenskaper mellan glödurladdning och ljusbågsurladdning. Det kan förstås att PVD och CVD utvecklar beläggningsteknik för ljusbågsurladdning eftersom ljusbågsurladdning kan förbättra plasmadensiteten i beläggningsprocessen.

▲ Tabell 3 Jämförelsetabell för egenskaper för glödurladdning och ljusbågsurladdning

Det kan ses från tabell 3 att urladdningsströmtätheten för bågarladdning är mycket högre än den för glödurladdning, vilket gör att atomerna i metallfilmskiktet joniseras till fler joner, som attraheras av arbetsstyckets negativa förspänning till accelerera till arbetsstycket och bli högenergifilmpartiklar.

En jons energienhet är elektronvolt, betecknad med "eV". Det är relaterat till temperaturen i följande formel, 1eV är lika med energin för detta ämne vid 11600K.

1 ev material 1,16 x 104 k

I vakuumförångning och varm CVD-teknik är temperaturen på filmpartiklar som når arbetsstycket 1000K~2000K, och dess energi motsvarar 0,1eV~0,2eV. Men kraften hos joner som når arbetsstycket i jonpläteringsmellanfilmen kan gå 1eV~100eV, och dess egen betydelse är mycket hög, och det är lätt att avsätta sammansatt film. Temperaturen för TiN-avsättning genom PVD minskade från 1000 grader till 500 grader ~ 200 grader.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com