Felanalys av högspänningsaggregat av PVD-vakuumbeläggningsmaskin
Feb 27, 2019| Felanalys av högspänningsaggregat av PVD-vakuumbeläggningsmaskin
Med utvecklingen av vetenskap och teknik har tillämpningen av fotoelektrisk teknik varit djup i alla samhällsskikt. Vakuumbeläggningsmaskin används ofta för produktion och utveckling av elektronikkomponenter. Nedan följer en kort introduktion av vakuumbeläggningsmaskinen av högspänningsaggregatdelen av det typiska felet.
Fel:
1, vid ökning av elektronstrålen indikerade högtrycket inte att platsen för strålpunkten inte befinner sig i mitten, varvid elektronstrålen träffade smältkanten, vilket resulterade i högt tryck utan indikation; (2) platsen för platsen i mitten är det ångade materialet brutet vilket resulterar i högt tryck utan indikation.
2, ingen stråle, högspänning indikation instabil last problem; (2) normal belastning, högspänningsförsörjningsproblem; (3) det finns förorening i vakuumrummet. Om vakuumkammaren är förorenad, kan elektronpistolen, smältkroppen och högtryckselektroden rengöras noggrant. Om inte, kan delarna och klockkärlet rengöras ordentligt
Elimineringsmetoder:
Använd högspänningsmätaren för att mäta utspänningen hos högspänningsdelen och kontrollera om det är normalt. Om det är normalt använd ersättningsmetoden eller andra metoder för att kontrollera om huvudbrytarkretsen i den automatiska återställningsdelen är normal. Om det är onormalt, indikerar det att det är kretsproblemet för denna del. Eliminera felet och returnera högspänningsindikatorn till normalt.