Utvecklingshistoria av molekylpumputvecklingshistoria
May 23, 2018| 1. Tidig molekylpump
År 1912 uppfann en tysk som heter W.Gaede den första molekylpumpen i världen, diametern på dess rotor är 50 mm och det finns 8 slitsar i olika storlekar på rotorerna. Den roterande hastigheten är 12 000 r / min, och pumphastigheten är cirka 1,5 l / s. Arbetsprincipen för denna tidiga pump är densamma som den moderna molekylpumpen, men den elimineras snabbt på grund av mycket misslyckande så det har inte blivit populärt.
1926 utvecklade M. Siegbahn en molekylpump av disktyp i universitetslaboratoriet i Sverige. Dess struktur liknar den hos den moderna molekylpumpen för drag-typ. Pumpkroppen har spiralspår och rotorn är en skiva. 1939 producerade LE BOLD två pumpar med en diameter på 540 mm. Spårets dimensioner är 22 mm x 22 mm på insidan och 22 mm x 1 mm på utsidan. Den roterande hastigheten är 3 700 r / min och pumphastigheten är 73 l / s.
De tidiga molekylpumparna är alla molekylpumpar av traktyp. Med nackdelarna med stora volymer, låga pumphastigheter, små luckor och många fel är det föremål för många begränsningar i applikationen, och därför kan den endast användas i vissa speciella fält och har inte blivit populariserade.
2. Födelsen av turbomolekylära pumpar
1957 uppfann W. Becker från PFEIFFER GmbH i Tyskland en ny molekylpump med namnet turbomolekylär pump. Horisontell struktur och pumphålrummet är utrustad med dynamiska och statiska bladrader. Gasen går in genom inloppsporten i mitten av pumpen och strömmar genom sugkanalen till båda sidor av pumpkroppen. Den komprimerade luften avges av avgasporten efter att den komprimerats av bladmatrisen. Rotorn i denna turbomolekylära pump består av 19 bladrader. Såsom visas i Fig. 2 är diametern 170 mm, varvtalet är 16 000 r / min och pumphastigheten är 140 L / s.
1966 utvecklade SENCMA Corporation i Frankrike en vertikal turbomolekylpump med 14 blad, rotordiametern är 286mm, rotationshastigheten är 12.000r / min och pumphastigheten är 650L / s vilket skapar den vertikala turbomolekylpumpens pionjär.
Det finns många tillverkare av molekylära pumpar i Japan med stark förmåga att designa och producera molekylära pumpar. 1971 utvecklade institutet för fysisk och kemisk forskning i Japan framgångsrikt en 13 molekylpump med roterande blad och en 12-stående rotationsmolekylpump, rotordiametern är 300 mm och den roterande hastigheten är 12 000 r / min. År 1990 utvecklade Japans Osaka Vacuum Company först en storskalig molekylpump med en pumphastighet på 25 000 L / s.
För närvarande är den moderna molekylpumpens grundläggande struktur horisontell och vertikal. Den horisontella molekylpumpen har fördelarna med rotorns likformiga kraft, bra lagerpositioneringskraft, lång livslängd, stationär rotorposition under lagerbyte och lätt underhåll. Men monteringsprocessen för den vertikala molekylpumpen är enklare än den horisontella molekylpumpen, så utvecklingen av den vertikala molekylpumpen under de senaste åren är mycket snabb.
3. Modern Molecular Pump
Sedan molekylpumpens födelse har det varit en historia på nästan hundra år. Med den kontinuerliga utvecklingen av olika vetenskap och teknik har molekylpumpstekniken också gjort många innovationer och genombrott. Den moderna molekylpumpen är mer intelligent, flexibel och effektiv.
Under de senaste åren har de molekylära pumparna, med den snabba utvecklingen av kontrollteori och datateknik, applicerats på molekylära pumpar, styrts av dator och realiserat fjärrkontrollen av pumpen. På samma gång, baserat på informationsteknik, har säkerhets- och övervakningssystemen lett till utvecklingen av molekylära pumpar i riktning mot intelligens.
Pumphastigheten är molekylpumpens kärnparameter. Att öka rotationshastigheten är en av de mest direkta metoderna för att öka pumphastigheten. Med utvecklingen av den dynamiska balanseringstekniken kan molekylpumprotorn fungera smidigt vid ultrahög hastighet. Och med utvecklingen av materialvetenskap har materialet i molekylpumprotorn också förändrats, det kan vara tillverkat av hård aluminiumlegering, kolfiber, titanlegering och andra material med hög hårdhet, vilket ytterligare förbättrade rotorns rotationshastighet.
Under de senaste åren har molekylpumpen med utvecklingen av halvledarindustrin kontinuerligt avgassat en stor mängd gas i en högtrycksmiljö och säkerställer rent vakuum i många fall. Utförandet av traditionella turbomolekylära pumpar i denna miljö har sjunkit mycket och det är svårt att garantera designresultaten. För att göra molekylpumpen anpassad till arbetsmiljön med högt tryck läggs den molekylära pumpdelen i den ursprungliga turbomolekylpumpen och turbomolekylpumpen och den efterföljande molekylpumpen kopplas i serie för att bilda en kompositmolekylpump ( som visas i figur 3) med fördelarna med både turbo-molekylpumpen och den efterföljande molekylpumpen.
Dessutom har ett antal nya typer av molekylpumpar uppstått de senaste åren, såsom molekyler med låg temperatur som effektivt kan extrahera vattenmolekyler, keramiska molekylpumpar som kan arbeta under starka magnetfält och starka korrosionsbetingelser och magnetiska suspensionsmolekylpumpar med fördelar med kontaktlöst stöd, hög effektivitet och lång livslängd.