Jämförelse av DC Bias och Pulse Bias

Jämförelse av DC-bias och pulsbias

Traditionell bågjonplätering är att applicera negativ DC-förspänning på substratet för att kontrollera jonbombardemangsenergin. Denna avsättningsprocess har följande nackdelar: 1. Den höga temperaturen hos substratet bidrar inte till att avsätta en hård film på substratet med en låg anlöpningstemperatur. 2. 3. Högenergijonbombardement orsakar allvarlig sputtering, och hårda filmer med hög reaktionströskelenergi kan inte syntetiseras genom att bara öka jonbombardemangsenergin. 4. I DC bias arc ion pläteringsprocessen, för att hålla tillbaka den överdrivna substrattemperaturen som orsakas av den kontinuerliga bombarderingen av positiva joner på substratytan, används huvudsakligen åtgärder som att minska avsättningskraften, förkorta avsättningstiden och använda intermittenta deponeringsmetoder för att minska deponeringstemperaturen. Dessa åtgärder kan sammanfattas som energikontrollmetoder. Även om denna metod kan minska avsättningstemperaturen, minskar den också vissa egenskaper hos filmen och minskar också produktionseffektiviteten och stabiliteten hos filmkvaliteten, så det är svårt att främja applikationen. I processen med pulsad förspänningsbågjonplätering, eftersom joner bombarderas av substratytan i ett icke-kontinuerligt pulsläge, kan temperaturgradienten mellan substratet och ytan ändras genom att justera pulsförspänningens arbetscykel, och sedan värmeutjämningskompensationseffekten mellan substratet och ytan kan ändras för att uppnå syftet att reglera deponeringstemperaturen. På detta sätt kan höjden på den förspända pulsen separeras oberoende från arbetsstyckets temperatur (påverkar inte varandra eller har liten inverkan), och högspänningspulsen kan användas för att erhålla bombarderingseffekten av högenergijoner för att förbättra filmens organisation och prestanda, och den totala uppvärmningseffekten av jonbombardement kan minskas genom att minska arbetscykeln för att minska avsättningstemperaturen.

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com