Vanlig problemlösning av magnetronsputteringfilm

Filmen är grå och mörk

1. Vakuumgraden är lägre än 0,67 Pa. Vakuumgraden bör ökas till 0,13-0,4Pa.

2. Renheten av argon är mindre än 99,9%. Plaese använder argon med en renhet på 99,99%.

3. Uppblåsbar systemläckage. Inflationssystemet bör kontrolleras för att eliminera läckage.

4. Primeren är inte helt botad. Primerens härdningstid bör förlängas på lämpligt sätt.

5. Mängden gas som frigörs från den pläterade delen är för stor. Kammaren bör torkas och förseglas

Måttlig och tråkig yta

1. Sprutningstiden är för lång. Tiden bör förkortas på lämpligt sätt.

2. Sputtering och filmhastighet är för snabb. Vänligen reducera förstoftningsströmmen eller spänningen.

Ojämn färg på beläggningen

1. Filmen är för tunn. Höj sputtermomentet eller sputteringstiden.

2. Irrationell fixtur design. Fixture design bör förbättras.

3. Substratets geometri är för komplicerat. Behöja lämpligt ökad rotationshastighet för substratet.

Film har rynkor eller sprickor

1. Förångningsgraden är för snabb. Det borde vara ordentligt långsamt.

2. Filmen är för tjock. Sputteringstiden bör vara lämpligt förkortad.

3. Substratets temperatur är för hög. Förkorta uppvärmningstiden för substratet.

Filmytan har vattenmärken, fingeravtryck och sotpartiklar

1. Substratet torkas inte tillräckligt efter rengöring. Förpläteringsbehandling bör stärkas.

2. Ytan på substratet stänker med vatten eller saliv. Operatörer bör ha masker.

Dålig vidhäftning

1. Dålig avfettning av pläterade delar. Förpläteringsbehandling bör stärkas.

2. Vakuumkammaren är inte ren. Vakuumkammaren ska rengöras. Observera att under processen för lastning och lossning av mål är det strängt förbjudet att använda händer eller annat orent föremål är att röra magnetronkällan.

3. Armaturen är inte ren. Fixturen ska rengöras.

4. Felaktig kontroll av sputtering processförhållanden. Vänligen förbättra sputtering processförhållandena.