Kort introduktion av PVD Coating Sputtering System och Control System
Feb 10, 2018| 
Sputtering System
Sputtersystem är kärnan i PVD-beläggning, som består av mål , målsättning och specialgas. Det finns många typer av strömförsörjning och de kommer i flera sorter enligt nedan:
1. Enligt utgångsläget är det likströmsförsörjning , nätaggregat (sinusvåg, kvadratvåg), pulsströmförsörjning och DC-överlagrad puls strömförsörjning ;
2. Enligt utgångsfrekvensen är det likströmsförsörjning , lågfrekvent strömförsörjning och mediumfrekvent strömförsörjning ;
3. Enligt kraften är det låg strömförsörjning, medietillförsel, kraftförsörjning och superströmförsörjning;
4. Enligt kontrollläget finns det konstant strömförsörjning, konstant spänning och konstant strömförsörjning.
Kontrollsystem
Styrsystemet är själen för hela enheten, det styr hela hela systemet. Kontrollsystemet består av mjukvaruoperativsystem, datainsamlingssystem, dataanalyssystem och verkställande transmissionssystem och så vidare. Bland dem samlar datainsamlingssystemet, flöde (ånga), vakuumtryck, motorhastighet, ventilposition och annan information. Dessutom är programvarans operativsystem och dataanalyssystem PLC under de flesta omständigheter. Dessutom består det verkliga transmissionssystemet av olika reläer, kontaktorer, magnetventiler, växlar, etc.