Analys och förbättring av vanliga problem i optisk beläggning

Analys och förbättring av vanliga problem vid optisk beläggning

De vanliga problemen med beläggningsprodukter orsakas delvis av beläggningsprocessen, och vissa lämnas av den tidigare tekniken. Beläggningens slutliga kvalitet är en omfattande reflektion av behandlingen av hela optisk komponent (speciellt polering och rengöring). Verkligen hitta orsaken, och förbättringen av motåtgärderna kan ge resultat.

Först filmstyrkan

Filmstyrka är en viktig indikator på linsbeläggning och ett vanligt föremål i beläggningsprocesser.

Filmstyrkan (svag film) uttrycks huvudsakligen som:

1 Torka av med ett speciellt band för att producera en del av avskalning;

2 Torka av med ett speciellt band för att producera ett punktfall;

3 kokas i 15 minuter, dras sedan med ett speciellt band för att producera en punkt eller flinga av;

4 Med en speciell gummihuvud och gnugga 40 gånger med 1 kg kraft finns det en väg att producera;

5 Filmen torkas eller torkas inte med sprickor i sköldpaddan och retikulära linjer.

Förbättringsideer: Kombinationen av substrat och film är primärt övervägande, följt av filmytans hårdhet jämnhet och filmspänning.

Orsaker och motåtgärder för filmstyrka:

1 Kombination av substrat och filmskikt.

I allmänhet är det i antireflektionsfilmen den främsta orsaken till den svaga filmen. Eftersom substratets yta oundvikligen har några skadliga föroreningar som är fästa vid ytan under optisk kallbearbetning och rengöring, har substratets yta några skiktskikt på grund av effekten av optisk kallbearbetning och orenheter djupt i skiktskiktet (såsom vattenånga), oljedamp, rengöringsvätska, torkvätska, poleringspulver etc., där vattenånga är huvudet) är det svårt att avlägsna det med allmänna metoder, särskilt för substrat med bra hydrofilicitet och stark adsorption. När filmmolekylerna ackumuleras på dessa föroreningar påverkas vidhäftningen av filmskiktet vilket påverkar filmstyrkan.

Om substratet är dåligt i hydrofilicitet och dåligt vid adsorption är dessutom adsorptionen av filmskiktet också dåligt vilket också påverkar filmstyrkan.

Nitratmaterialets kemiska stabilitet är dålig. Under substratets process under förbehandlingen har ytan korroderats, bildat ett korrosionsskikt eller ett hydrolysskikt (kanske lokalt, extremt tunt). När filmen är pläterad på korrosionsskiktet eller hydrolysskiktet är adsorptionen dålig och filmen är fast.

Substratets yta är smutsigt, oljeplatser, grå fläckar, salivspetsar etc., och det lokala filmskiktet är fastsatt, vilket resulterar i lokal filmfasthet.

Förbättra strategin:

(1) Stärka avfettningsbehandlingen. Om det är ultraljudsrengöring ska den fokusera på oljefjernningsfunktionen och effektiviteten av oljelösningen; Om det gnidas för hand, överväg att torka det med kalciumkarbonatpulver före rengöring.

(2) Stärka förpläteringsbakningen, tillståndet tillåter, substrattemperaturen kan nå 300 ° C eller bättre, temperaturen är mer än 20 minuter och vattenångan och oljedampen på ytan av substratet bör förflyktas som så mycket som möjligt. * Obs! Temperaturen är högre, substrat adsorptionskapaciteten ökas, och det är lätt att adsorbera damm. Därför bör vakuumkammarens renhet förbättras. I annat fall kommer substratet att ha dammadhesion före plätering, vilket har en effekt på filmstyrkan utöver andra. (Den kemiska desorptionstemperaturen för vattenånga på substratet i vakuum är över 260 ° C). Men inte alla delar behöver högtemperaturbakning, och vissa nitrater har en hög temperatur, men filmstyrkan är inte hög och det kommer att finnas färgpunkter. Detta har ett stort samband med stress och material termisk matchning.

(3) När det finns förhållanden är enheten utrustad med en kondensator (PLOYCOLD). Förutom att öka enhetens vakuumpumpningshastighet kan det också hjälpa vattenångan och oljan och gasen i substratet att avlägsnas.

(4) För att öka vakuumgraden för ångavsättning, för en beläggningsmaskin på mer än 1 m bör vakuumet för upptagningen av ångavsättning vara högre än 3 * 10-3Pa, ju större beläggningsmaskinen desto högre dammsugning av ångdepositionen.

(5) När villkoret är uppfyllt är enheten utrustad med en jonkälla, bombarderad före plätering, rensar substratets yta och hjälper till vid beläggningsprocessen, som bidrar till filmskiktets kompaktitet.

(6) Avfuktning av filmmaterialet och det filmmaterial som skall användas placeras i en vakuumkammare som skall torkas.

(7) Håll arbetsmiljön torr (inklusive linsens torkning, arbetsplats för övre paraply) och ta inte med mycket vattenånga vid rengöring av arbetsmiljön.

(8) För flerskiktsfilmer är det i filmsystemets utformning nödvändigt att överväga matchningen av filmen och substratet och överväga Al2O3-filmmaterialet så mycket som möjligt, vilket har god adsorptionskraft mot de flesta substraten . För metallfilmer är det också möjligt att överväga skiktbelagda Cr- eller Cr-legeringar. Cr- eller Cr-legeringen har också bra adsorptionskraft på substratet.

(9) Ta bort polervätskan (polervätska) för att ta bort korrosionsskiktet (hydrolysskiktet) på linsens yta

(10) Ibland är det användbart att minska avdunstningshastigheten på lämpligt sätt för att förbättra filmstyrkan och det har positiv betydelse för att förbättra filmytans jämnhet.

3 yttre filmytans hårdhet:

Det yttre skiktet av anti-reflektionsfilmen är generellt MgF2 och tvärsnittet av filmen är en lös kolonnstruktur, och ythårdheten är inte hög och det är lätt att torka ut spåret.

Förbättra strategin:

(1) När membransystemets utformning tillåts beläggs det yttre skiktet med SiO2-skikt av ca 10 nm. Ytans jämnhet av kiseldioxid är bättre än magnesiumfluoridets (men ytskiktets slitstyrka och silikans hårdhet är inte lika bra som magnesiumfluorid). Efter plätering i några minuter kommer effekten av fastheten att bli bättre. (men ytan blir tjockare)

(2) Efter att linsen lämnar vakuumkammaren placeras den på en relativt torr och ren plats för att snabbt absorbera fukt och minska ythårdheten.

4 andra

Orsaken till filmstyrkan är att vakuumgraden är för låg (kan förekomma i en manuellt styrd maskin), vakuumkammaren är smutsig och substratet är inte uppvärmt.

När extragasen laddas laddas också filmmaterialet, så att vakuumgraden sänks, den molekylära fria banan reduceras och filmskiktet är inte starkt. Därför bör fyllningen av hjälpgasen överväga avluftningen av filmmaterialet. Före pläteringen är filmmaterialet fullständigt försmält och fullständigt deflaterat och vakuumgraden sänks för mycket på grund av ventilationen av filmmaterialet i ångavsättningen och påverkar därigenom filmstyrkan.

5 avdrivning

Även om frisättningsfilmen här också är en svag film har den vissa skillnader från den ovannämnda släppfilmen. Huvudfunktionerna är: Spot-Like Release, Kant Release, och partial release.

Den främsta orsaken är närvaron av smuts eller föroreningar i membranet.

Förbättringsmetod: Förbättra substratets renhet.

Membranpunkter är också ett vanligt problem i belagda produkter. I Japan och Taiwan kallas filmpunkterna "spot holes".

Som namnet antyder är filmpunktet ångavsättning. Den stora partikelfilmpunkten är ångavsättning på ytan av substratet tillsammans med filmens ångmolekyler. Substratets yta bildas med fläckliknande utsprång, ibland individuella punkter. I allvarliga fall är den formad i bitar. De fina fläckarna, stora partiklar kan till och med skada ytan på substratet.

Förångningsegenskaperna hos olika filmmaterial är olika, speciellt smältpunktstemperaturen och indunstningstemperaturen är mycket olika.

ett material som har en smältpunktstemperatur som är större än förångningstemperaturen, vilken direkt förångas av ett fast tillstånd och är ett sublimeringsmaterial;

Ett material som har en smältpunkt som är lägre än förångningstemperaturen, vilken omvandlas till ett flytande tillstånd med ett fast tillstånd och sedan omvandlas till ett gasformigt tillstånd för att indunstas, vilket är ett icke-sublimeringsmaterial;

Ett material som har en smältpunktstemperatur ekvivalent med indunstningstemperaturen, indunstar från ett fast tillstånd till ett gasformigt tillstånd och indunstas under smältning. Det är ett semi-sublimeringsmaterial.

Bland dem är det icke-sublimeringsmaterialet lätt att producera en filmmaterialpunkt eftersom det flytande filmmaterialet fortsätter att värma och kokar och bubblorna i filmmaterialet i kokande materialet överflödar och möjligheten att stänk filmmaterialets punkt är ökad. Ibland finns det mycket stänk när materialet är försmält.

Filmmaterialet är fuktigt och vattenångan släpps under försmältning eller avdunstning, vilket också orsakar stänk.

IKS PVD, optisk beläggningsmaskin, OPT-2700, kontakta iks.pvd@foxmail.com för att fråga maskinparameter detaljerna nu.