Ytrengöring och polering av vakuum material

Ytrengöring av vakuum material

Yta rengöring av vakuum materialet tar bort oljan adsorberat på ytan för att minska gas utvecklingen av materialet i vakuum. Grundläggande metoder för ytrengöring av vakuum material är främst organiska lösningsmedel rengöring och ultraljudsrengöring. När rengöring med organiska lösningsmedel, vanligen används rengöring inkluderar lösningar demineraliserat vatten, etanol, aceton, metall rengöringsmedel och så vidare.

Principen om ultraljud rengöring visas i Fig.1. Efter ledande ultraljud vågor i vätskan, orsakar den intensiva rörelsen av vätskan en lokal tryckskillnad. Den lågtryck delen kommer att producera ett stort antal bubblor, och när trycket stiger igen, dessa bubblor kommer att brista omedelbart skapa chockvågor i vätskan. Stötvågen kommer lossna olja föroreningen på solid yta. Ultraljuds rengöringsmedel vanligtvis använder alkohol eller aceton. Efter ultraljudsrengöring, sätta de rengjorda delarna i atmosfären, avdunstar alkohol eller aceton omedelbart, lämnar ingen skala på ytan av delarna.

Fig.1 hur ultraljudsrengöring fungerar

Polering av vakuum material

Mängden gas som släppt från vakuumkammare och interna komponenter är direkt relaterad till ytan av materialet. Atomic densiteten solid yta är 2 × 10¹⁹m^-2. Med tanke på ojämnhet i ytan, kommer den faktiska fast yta adsorbera ett stort antal gasmolekyler. Polering kan göra ytan jämnare, ytan kan minskas kraftigt, vilket minskar gasmolekylerna adsorberat på ytan. Polering främst innehåller glas blästring och elektrolytisk polering.

Blästring av glas pellets är låg kostnad, men ytjämnheten av de behandlade fasta är stora, såväl som den utsläppta gas, så det används mindre och mindre.

Principen om elektrolytisk polering är att placera metalldelen i en sur elektrolyt metalldelen är ansluten till anoden, elektroden och behållaren används som katod, El används för att göra den konvexa delen av den metalldel som vetter mot den katod lös först, och Fe och Ni atomer i metalldelen löses i elektrolyten för att uppnå slutmålet för en slät yta (Fig.2). Om Katodelektrod tillhandahålls flexibelt, både de inre och yttre ytorna av cylindrisk metall medlemmen kan poleras och metalldelarna kan också utsättas för selektiv partiell polering.

Fig.2 elektrolytisk polering Schematisk

Elektrolytisk polering kan eliminera fina oegentligheter (0.01 μm till flera μm) på metallytan, säkerställa metallisk lyster, men det kan inte eliminera relativt stora oegentligheter. Elektrolytisk polering är en typisk elektrokemiska polering metod, och den oxidfilm som bildats på ytan minskar också adsorption av gasmolekyler.

Det finns också en speciell ytbehandling metod, som är, att införa en speciell gas in i vakuum kammaren att inducera en urladdning i kaviteten, och genererade jonerna slog den inre väggen av Hålrummet att få en slät yta.

Surface-renat vakuumkammare och komponenter bör inte vidröras direkt för hand för att undvika kontaminering av kolväten och klorider i svett. Dessutom bör damm och vattenånga (saliv) undvikas så mycket som möjligt.