Sprutande jonpump - Titanium sublimeringspumpset

Sprutande jonpump - Titanium sublimeringspumpset

1.Vakuumkammare 2. Ultrahög vakuumgrindventil 3. Förstuttande jonpump-Titansublimationspumpuppsättning 4. Ultrahög vakuumgrindventil 5. Kallfälla 6. Diffusionspump 7. Släppventil 10. Mekanisk vakuumpump
FIKON. 2 Kombinerat ultrahögt vakuumsystem

Figur 2 visar en annan typ av kombinerat ultrahögt vakuumsystem. Systemet ärlämpligför vakuumtätningsugnar, tantalflisugnar och annan utrustning. Systemets huvudpump är jutpumpen som sputtrar och sublimeringspumpen av titan. Vakuumkammarens gränsvakuum kan nå 5 × 10-7Pa. Systemet är utrustat med en enhet bestående av en oljediffusionspump och mekanisk pump, som används för råpumpning och förpumpningspump som huvudpump och samtidigt kan pumpa ut en stor mängd gas som släpps ut under processen.

IKS PVD -företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD -vakuumbeläggningslinje, nyckelfärdiga projektet är tillgängligt.Kontakta oss nu, E-post:iks.pvd@foxmail.com