Kombinerat ultrahögt vakuumsystem
Aug 30, 2021| Kombinerat ultrahögt vakuumsystem
För vissa vakuumsystem med speciella krav, till exempel de som kräver ultrahögt vakuum eller ultrahögt vakuum utan olja, och som samtidigt uppfyller behoven för grov pumpning och klarar en stor mängd gas som släpps ut under processen, det kombinerade systemet kan användas för att uppfylla kraven. FIKON. 1 visar schematisk diagram över vakuumsystemet i den oljefria ultrahöga vakuumbeläggningsmaskinen. Huvudpumpen är stoftande jonpump, som är utrustad med en titansublimeringspump för att förbättra vakuumgraden och tömma den stora mängden gas som produceras av förångande material. Det ultimata vakuumet kan nå 6,67 × 10-7Pa. Förpumpningspump med molekylsiktpump som huvudpump. Dessutom är systemet också utrustat med en adsorptionsfälla - mekaniskt pumpoljepumpsystem, när trycket är större än 1333Pa, är den mekaniska pumpen inte lätt att returnera olja, den mekaniska pumpen dammsuger vakuumkammaren direkt när trycket på vakuumkammaren är lägre än 1333Pa, den mekaniska pumpen genom adsorptionsfällan 9 från bypass -vakuumkammaren.
1. Vakuumkammare 2. Ultrahög vakuumventil 3. Sprutande jonpump 4. Titansublimeringspump 5. Ultrahög vakuumventil6. Släppventil 7.Hög vakuumventil 8. Molekylsiktpump 9. Adsorptionsfälla 10. Mekanisk pump
FIKON. 1 Schematiskt diagram över vakuumsystemet för oljefri ultrahög vakuumbeläggningsmaskin
IKS PVD -företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD -vakuumbeläggningslinje, nyckelfärdiga projektet är tillgängligt.Kontakta oss nu, E-post:iks.pvd@foxmail.com