High Power Intermediate Frequency Magnetron Sputtering Strömförsörjning
Strömförsörjningsfunktioner med hög effekt mellanfrekvensmagnetron Spruttning Strömförsörjningsfunktioner ● MF-magnetronsputteringskällan kan implementera funktionen av ljusbågsläckning med rimlighet och snabbhet på grundval av att fullt ut uppfyller kraven. Och strömförsörjningen har perfekt display ...
- produkt introduktion
● Strömkällan med hög effekt MF magnetronsputtering kan implementera funktionen av ljusbågsläckning rimligen och snabbt på grundval av att fullt ut uppfyller kraven. Och strömförsörjningen har perfekt skärm- och skyddsfunktioner för underspänning, överspänning, överbelastning, överhettning etc. Det kan även spraya icke-ledande mål och öka joniseringshastigheten för att effektivt övervinna målförgiftning och onormal urladdning.
● Strömförsörjningen antar avancerad strömförsörjningsteknik med hög frekvensomriktare och IGBT-effektmodul för att minska utmatningsenergilagringselementet, vilket gör att beläggningsskiktet är extremt tätt och smidigt.
● Med pekskärmens mikrokontroller är strömförsörjningen mycket integrerad och kraftfull med enkel drift. Displayen av ström och spänning är mycket tydlig och intuitiv.
● PHP-bågundertryckstekniken säkerställer att användarna kan kontrollera beläggningsskiktets kvalitet mer bekvämt vid ytbehandlingsprocessen. Genom att ha funktionerna i spänningsstabilisering och idealisk kupé, kan strömförsörjningen effektivt hämma bågningen på arbetsstyckets yta och avsevärt förbättra produktionsutbytet, liksom ytfinheten och filmadhesionen hos pläteringsstyckena.
● Strömförsörjningen erbjuder tre lägen (konstant spänning, konstant ström och konstant effekt) för att välja. Jämfört med det traditionella konstanta strömläget kan det konstanta effektläget bättre säkerställa repeterbarheten av beläggningsprocessen.
● Strömförsörjningen kan kommunicera med värddatorn via de digitala portarna som RS232, RS485, WIFI och så vidare, vilket utökar sin styrfunktion.
● Med ett stort utbud av uteffekt och frekvens kan strömförsörjningen tillgodose behoven hos olika processprogram.
● Huvudparametrar för den kan justeras inom ett stort omfång.
Specifikation
Produktmodell | EP80A125H |
Input Power & Frequency (V / Hz) Threfas och Fyra Wire | Ac380 + N |
| 60Hz | |
Utgående strömområde (A) | 0 ~ 80 |
Noggrannhet för konstant spänning och konstant ström | ≤1% |
Nominell utgångsspänning (DCV) | 1250 |
Maximal utgångseffekt (KW) | 100 |
Duty Cycle (%) | 80 |
Vikt (kg) | 80 |
Externa dimensioner (MM) | 575 (D) x 480 (B) × 250 (H) |
Isolationsgrad | B |
Produktivitet(%) | 90 |
Kapslingsklass | IP21 |
Driftläge | Konstant spänning, konstant ström och konstant effektlägen är valfria. Konventionell utgång: Konstant ström |
Kylningsläge | Vattenkylning |
Externt gränssnitt | Denna serie produkter alla adopterar pekskärmen mikrokontroller |
Prestationsjämförelse Jämfört med 30kw MF Magnetron Sputtering Power Supply
Produktläge | 30kw Mid-Frequency | EP125A80H |
Frekvens (kHz) | 40 | 40 |
Duty Cycle (%) | 80 | 80 |
Spänning (V) | 800 | 800 |
Ström (A) | 38 | 125 |
Maximal effekt (KW) | 30 | 100 |
Fördelar med Power Power MF Magnetron Sputtering Strömkälla EP125A80H
● Högt utrymmeutnyttjande av ugnen
EP125A80H kräver mindre mellanfrekvensmål och säkerställer högre utnyttjande av ugnen och bättre produktionskapacitet.
● Utmärkt bågskyddsteknik
EP125A80H antar PHP-bågsuppressionsteknik, så användarna kan bekvämt styra filmens kvalitet vid ytbehandlingsprocessen för att få bättre filmstruktur.
Användare kan ersätta den befintliga magnetronsputteringens strömförsörjning med EP125A80H direkt, och behöver bara ersätta kylsystemet istället för att ersätta katodmaterial och magnetfält.
● Hög volymförhållande
Hög volymförhållande gör det lättare för användare att integrera installationsinstallationen.
Ansökan
High Power MF magnetron sputtering kraftkälla används ofta i plasma, fysikaliska, kemiska, medicinska och olika vetenskapliga forskningsområden, det kan uppfylla ett brett spektrum av processkrav speciellt i vakuumbeläggningsutrustning.
