Massflödesmätare
D07-7KM Massflödesmätare Introduktion Massflödesmätaren (MFC) består av tre grundläggande enheter: flödesgivare, bypassflöde och tryckt kretskort, mäter det noggrant massflödena despiterar gasvolymen fluktuerade på grund av temperaturförändringar. MFC används allmänt i fälten ...
- produkt introduktion
Introduktion
Massflödesmätaren (MFC) består av tre grundläggande enheter: flödesgivare, strömbrytare förbi och tryckt kretskort, mäter det noggrant massflödena despiterar gasvolymen fluktuerade på grund av temperaturförändringar. MFC används allmänt inom halvledar- och IC-tillverkning, specialmaterialvetenskap, kemisk industri, petrolic industri, läkemedelsindustri, miljöskydd, vakuumsystemforskning etc.
Typisk applikation
De typiska användningarna av MFC inkluderar mikroelektronisk processutrustning, såsom diffusion, oxidation, epitaxi, CVD, plasma, etsning, förstoftning, jonimplantation och annat fält såsom dammsugningsutrustning, optisk fibersmältning, mikroreaktionsutrustning, blandning och matchande gassystem , kapillärflödesstyrningssystem, gaskromatograf och andra analytiska instrument.
D07-7KM MFC har fördelarna med hög precision, lång livslängd, utmärkt repeterbarhet, snabb respons, mjukstart, bra tillförlitlighet, brett driftstryck (bra drift vid högt tryck eller dammsituation), enkel och bekväm drift etc. Den kan installeras när det behövs och ansluts till datorn för att realisera automatisk kontroll.
Specifikation
Flöden | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Noggrannhet | ± 1,5% FS |
linjäritet | ± 1% FS |
repeterbarhet | ± 0,2% FS |
Respons tid | ≤ 4 sek |
Temperatur koefficient | Noll: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Spänning: ≤ ± 0,2% FS / ℃ |
Max tryck | 3MPa |
Driftstemperatur | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Tätningsmaterial | Viton, Neopren |
Inställnings- / utgångssignal | 0V ~ + 5.00V (Inputimpedans> 100K, utgångsströmmen <> |
Strömförsörjning | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektrisk koppling | D under 15 stift Kvinna |
Olika tryck | <0,01> |
Läckagehastighet | 1 × 10-8atm • cc / sek He (1 × 10-9 Pa • m3 / sek He) |
Standard Joint | Swagelok Φ8, Swagelok Φ6, Swagelok Φ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Inner) × 1 slangkopplare, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (Inner) × 1 slangkopplare |
Media | All gas |
Emi | CE |
Vikt | 0.92kg |
Installation Dimension
