Kompatibla vakuummätare och styrenheter CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar

INLEDNING INFICON SKY CDG045D manometrar är ditt bästa val för hög noggrann totalmätning och kontroll. CDG045D-mätare är temperaturstyrda vid 45 ° C för överlägsen signalstabilitet och repeterbarhet. De är tillgängliga för fullskaliga intervall från 50 mTorr till 1000 Torr, med ...

Skicka förfrågan

produkt introduktion

INTRODUKTION

INFICON SKY CDG045D manometrar är ditt bästa val för hög noggrann totalmätning och kontroll. CDG045D-mätare är temperaturstyrda vid 45 ° C för överlägsen signalstabilitet och repeterbarhet. De är tillgängliga för fullskaliga intervall från 50 mTorr till 1000 Torr, med alla vanliga flänstyper och fältbussgränssnitt och tillhandahåller en linjär 0 till 10 V, gastyp oberoende, trycksignal. INFICON-kapacitansmanometrar använder ett ultrahurtigt keramikmembran av aluminiumoxid som är korrosionsbeständigt. Fördelarna med keramiska sensorn är bättre signalstabilitet, snabbare återhämtning från atmosfären, kort uppvärmningstid och en extra livslängd. INFICON CDG är högkvalitativa, kostnadseffektiva tryckgivare för krävande vakuumapplikationer.

INFICON SKY CDG045D kapacitansmembranmätare är direkta ersättare för Oerlikon Leybold CTR 101 sändare. Få originalen från tillverkaren med globalt stöd och lösningar för alla applikationer.

FÖRDELAR

◆ Fullt kompatibel med CTR 101-sändare

◆ Lägre CoO (ägandekostnad), 50% snabbare uppvärmning, energieffektiv låg strömförbrukning

◆ Enkel integrering, brett utbud av fulla skalor, flänsar och gränssnitt, standard med två setpunkter

◆ Enkel en tryckknapp eller fjärrstyrd signal nollkommando, nollförskjutning justerbar

◆ Diagnostisk port för snabb service och underhåll

◆ Två års garanti, längre livslängd med avancerat värmekoncept och mätskydd

◆ Ingen långvarig omkalibrering på grund av utmärkt signalstabilitet och repeterbarhet, även i hårda plasmaprogram

◆ Överensstämmelse och standarder: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

TYPISKA ANVÄNDNINGSOMRÅDEN

◆ Etch, CVD, PVD och andra halvledarproduktionsprocesser

◆ Kemiska och frätande vakuumprocesser

◆ Allmän tunna film och vakuumprocesser

◆ Referenssensor för övervakning av testinstrument enligt internationella standarder

◆ Överför standard för spårbarhetsmätningar

SPECIFIKATION

Typ		1000 torr, 1100 mbar	500 ... 1Torr / mbar	0,5 ... 0,05 Torr / mbar
Noggrannhet	% av behandlingen	0,15	0,15	0,15
Temperatureffekt
på noll	procent FS / ° C	0,0025	0,0025	0,0025
på spänningen	% av läsning / ° C	0,01	0,01	0,01
Upplösning	procent FS	0,003	0,003	0,003
Tryck, max.	kPa (absolut)	400	260	130
Lägsta läsning	procent FS	0,01	0,01	0,01
Lägsta föreslagna läsning	procent FS	0,05	0,05	0,05
Lägsta föreslagna kontrolltryck	procent FS	0,5	0,5	0,5
Temperatur
Drift (omgivande)	° C	+10 ... +40	+10 ... +40	+10 ... +40
Bakeout vid fläns	° C	≤110	≤110	≤110
Lagring	° C	-20 ... +65	-20 ... +65	-20 ... +65
Matningsspänning		+14 ... +30 VDC eller ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC eller ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC eller ± 15 V (± 5%)
Energiförbrukning
Under uppvärmning	W	≤12	≤12	≤12
Vid driftstemperatur	W	≤8	≤8	≤8
Utgångssignal (analog)	V (dc)	0 ... +10	0 ... +10	0 ... +10
Respons tid	Fröken	30	30	130/30
Skyddsnivå		IP 40	IP 40	IP 40
standarder
CE-överensstämmelse		EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-certifiering		UL 61010-1, CSA 22.2 nr.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 nr.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 nr.61010-1
SEMI-efterlevnad		SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
Elektrisk anslutning		D-sub, 15 pol, manlig	D-sub, 15 pol, manlig	D-sub, 15 pol, manlig
börvärde
Antal börvärden		2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)
Reläkontakt	V (fm)	≤30	≤30	≤30
hysteres	procent FS	1	1	1
Diagnostisk port
Protokoll		RS232-C	RS232-C	RS232-C
Läsa		tryck, status, ID	tryck, status, ID	tryck, status, ID
Uppsättning		setpunkter, filter, noll justera, fabriksåterställning, DC-offset	setpunkter, filter, noll justera, fabriksåterställning, DC-offset	setpunkter, filter, noll justera, fabriksåterställning, DC-offset
Material som exponeras för Vakuum		luminiumoxid keramik (AI2O3), fläckar s stål (AISI 316L)	luminiumoxid keramik (Al 2 O 3 ), rostfritt stål (AISI 316L )	luminiumoxid keramik (Al 2 O 3 ), rostfritt stål (AISI 316L )
Intern volym
1/2 "röret	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
8 VCR®	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)

Populära Taggar: kompatibla vakuummätare och styrenheter cdg045d 0.05 ~ 1000torr / mbar, Kina, tillverkare, leverantörer, köp, skräddarsydda, gjorda i Kina

← Ett par: VGC50x vakuummätare

Nästa: Kompatibla vakuummätare och styrenheter CDG025D 0,1 ~ 1000 Torr / mbar →

Skicka förfrågan

Du kanske också gillar