Arbetsprincip och schematiskt diagram över kryogen pump

Arbetsprincip och schematiskt diagram över kryogen pump

Kryogenpumpens arbetsprincip är att avgas genom fysisk adsorption på ytan med låg temperatur.

Kryogenpumpen kan uppnå extremt högvakuum (10-11 Pa) och har fördelarna med snabb avgashastighet, ingen olja och obegränsad installationsriktning. Dess struktur visas i figur 1 .

FIKON. 1 schematiskt diagram över kryogen pumpstruktur

1 - första stegs kylbord 2 - sekundär kylskåp; 3 - kryogen täckning; 4 - skärmskydd 5 - baffel

Kryogenpumpens första stegs kallbord är utrustat med skärmskydd och baffel och temperaturen hålls vid 80K. Det sekundära kylbordet bibehålls vid 15K, på vilket ett lågtemperaturskydd och aktiverat koladsorbent är inställt.

Vattenånga stelnar på 80K-skärmen och 80K-baffeln. Kväve, syre och argon stelnar på en 15K kryogenmask. Vätgas, helium och neon adsorberas på adsorbenten på insidan av 15K lågtemperaturhus. Den kryogena pumpen kan avgasa alla gaser, men om för mycket gas absorberas minskar avgashastigheten. Vid denna tidpunkt behöver den kryogena pumpen upphettas för att frigöra den adsorberade gasen och återanvändas.