Vad är den specifika processen för uppbyggnad av luminans i magnetron sputtering princip Hur är Ar gas joniserad
Apr 22, 2020| Vilken är den specifika processen för uppbyggnad av luminans i magnetron sputtering princip? Hur joniseras Ar gas?
Under inverkan av en tillämpad spänning mellan de positiva och negativa elektroderna kommer gasatomer mellan elektroderna att joniseras. I joniseringsprocessen joniseras vissa Ar-atomer till Ar+ joner och elektroner. Elektronerna accelereras mot anoden av det elektriska fältet, och de positivt laddade Ar + jonerna accelererar mot katodmålet under inverkan av det elektriska fältet och frigör motsvarande energi i kollisionen med målytan. Ett av resultaten av jonernas inverkan med viss energi på målet är att atomerna på målytan får viss energi och lämnar målytan för att röra sig mot substratet. I processen för sputtering finns det andra spårpartiklar, inklusive sekundär elektronemission från katod.
Detta är en gasurladdning, och spänningen är oftast i de övre kilovolts. Men magnetron sputtering är annorlunda,
Under magnetron sputtering, det finns ett magnetfält på ytan av målet, så elektronerna kan bindas runt målet utan att förloras, bildar en självförsörjande ansvarsfrihet fenomen, och spänningen minskar naturligt till flera hundra volt. Under den självförsörjande urladdningen orsakas det mesta av argonjoniseringen av bombardemanget av fria elektroner.
e- + Ar →Ar+ + 2e-
Om du är intressant miljöskydd beläggning typ, kontakta oss nu, E-post:iks.pvd@foxmail.com.mer information om PVD vakuumbeläggning maskin produktion-IKS PVD-teknik (Shenyang) Co., Ltd