Video dekrypterar arbetsprincipen för molekylpump

Video dekrypterar arbetsprincipen för molekylpump

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Hur fungerar molekylpumpar?

arbetsprincip:

Pumpmekanismen för molekylpumpen skiljer sig från den för en mekanisk pump, som förlitar sig på förändringen av pumpkammarens volym för att ta ut luft.

Molekylpumpen drivs av motorn för att rotera med hög hastighet. I det molekylära flödesområdet kolliderar gasmolekylerna med höghastighetsbladets yta, och momentumet överförs till gasmolekylerna, så att vissa av gasmolekylerna rör sig i riktning mot den styva kroppsytan och förvisas från pumpen , för att uppnå syftet med luftuttag. Vanligtvis med den snabba rörelsen av stel kroppsytor för att bära gasmolekyler och få den att röra sig i en viss riktning av fenomenet känt som molekylärt dragfenomen, med detta fenomen som är gjort av vakuumpump känd som dragmolekylpump (gad pump). Fördelen med dragmolekylpumpen är att starttiden är kort, i det molekylära flödetillståndet har ett högt kompressionsförhållande, kan avlägsna alla slags gaser och ångor, särskilt lämpliga för extraktion av tyngre gaser. Eftersom traktionsmolekylpumpens pumphastighet är liten, är tätningsgapet dock för liten, arbetssäkerheten är dålig, lätt att mekaniskt misslyckas och tillverkningssvårigheter, i själva verket, sällan används. Senare förbättrades dragmolekylpumpen och turbomolekylpumpen dök upp.

Den turbomolekylära pumpen innehåller flera grupper av alternerande rotorblad och fixerade rotorblad, och det finns många sneda blad i en viss vinkel på varje blad, såsom visas i fig. 1. Den faktiska turbomolekylära pumpen består av en flerstegskaskad, nämligen manövreringsbladet, det fasta bladet och det rörliga bladet är anordnade växelvis. Rörliga blad fungerar som elektriska fläktblad när de roterar och pumpar gas från ena sidan till den andra. Att öka hastigheten för molekylpumpen är fördelaktigt för att förbättra molekylpumpens pumphastighet. På grund av bladets hastighetsgräns är det svårare att pumpa vakuum om gasmolekylerna rör sig snabbare.

Man kan se att turbomolekylpumpen också är en slags mekanisk vakuumpump. Kombinationen av höghastighetsroterande turbinrotorblad med flera steg och statiska blad används för luftuttag, vilket ger ett högt kompressionsförhållande för den extraherade gasen i molekylströmningsområdet för att erhålla den erforderliga vakuumprestandan. Det ultimata vakuumet för turbomolekylär pump är högre än diffusionspumpen, upp till 10 ^ -8pa. Vid normal drift krävs viss vakuumgrad i framsteget, som varierar något beroende på pumpen, vanligtvis från 1 till 200Pa. Mekanisk pump kan användas som främre scenpump. Enheten med hög vakuum består av molekylpump och mekanisk pump. På grund av turbomolekylpumpens höga hastighet drivs den vanligtvis av om motor, och om strömförsörjningsfrekvensen är mellan 300-400hz. Turbomolekylära pumpar är vanligtvis vattenkylda.

Den sammansatta molekylpumpen är en seriekombination av turbamolekylpump och dragmolekylpump, som kombinerar fördelarna med de två typerna av pumpar till en, och kan ligga inom ett brett tryckintervall på 10 ^ -6-1pa, med större pumphastighet och högre kompressionsförhållande, vilket kraftigt förbättrar pumpens utloppstryck.

  driftsförhållanden :

(1) rotorhastigheten når 20000r / min, så starttiden för molekylpumpen är relativt lång.
(2) gasen är i tillstånd av molekylärt flöde, så den måste utrustas med frontrampumpen. Generellt används den roterande skovelpumpen som den främre scenpumpen

Molekylära pumpfunktioner:

Oljesmörjningsmolekylpump: mängden smörjolja är liten, och i vakuumavsnittet i det förra steget är föroreningen av vakuumkammaren liten.
Smörjsmolekylpump: fettmängden är väldigt liten, torrpumpen före steg kan få ett rent vakuum nästan utan olja.
Molekylpump med full magnetisk suspension: inget smörjbehov, kan användas med torrpump, ren vakuummiljö utan olja.

Andra vanliga applikationer:

1. Analys (masspektrometri, elektronmikroskop, etc.)
2. Halvledare (elektroniska komponenter, integrerade kretsar, flexibla solceller etc.)
3. Optik / glas (termiskt skydd, antireflexion, reflektion, optiskt filter)
4. Beläggning (ytskydd, dekorativ färg, display, skärm)
5. Vakuummetallurgi (vakuumugn, vakuumlödning, vakuumsintring, vakuumlegering,)
6. Läckagedetektion (vakuumsystem, fordonsbränsletank, airbag)
7. Forskningsexperiment (medicinsk magnetisk resonansavbildning, kärnpartikelfysik, fusionsforskning, laserapplikationer och mycket mer)
8. Lampproduktionsindustri och relaterade industrier

IKS PVD, beläggningsmaskin använder den magnetiska levitation-turbomolekylpumpen. kontakta oss nu för att få mer information om PVD-vakuumbeläggningsmaskinen, iks.pvd @ foxmail.com