två typer av sputteringbeläggningar
Aug 15, 2020| två typer av sputteringbeläggningar
Den ena kallas jonstrålsprutning, som hänvisar till att bombardera målytan med jonstråle i vakuumtillstånd, så att de sputrade partiklarna kan bilda en film på ytan av matrisen. Denna process är relativt dyr och används främst för att skapa specialfilmer. Den andra kallas katodsputtering, som främst använder fenomenet med lågtrycksgasutladdning för att göra jonerna i plasmabombardementet av målytan och avsättningen av de sputterande partiklarna på matrisen. Det antar strukturen för parallellplattaelektrod, ett stort mål av membranmaterial är katoden, substratet som bär matrisen är anoden, och det är installerat i vakuumkärlet för klockburkar. För att minska föroreningar pumpas trycket inuti klockan först till mindre än L0-3 ~ 10-4pA och fylls sedan med Ar för att bibehålla trycket vid L ~ 10Pa. Sputteringbeläggningen utförs genom att lägga till tusentals volt mellan polerna.
Jämfört med avdunstningsavsättning har förstoftningsavsättning ingen fasförändring i målmaterialet (filmmaterial), föreningskompositionen är stabil, och legeringen är inte lätt att fraktionera, så att filmmaterialet som är lämpligt för beredning är mycket brett.Så energin från partiklar avsatta på underlaget genom förstoftning är 50 gånger högre än förångning, de har en rengörings- och värmningseffekt på underlaget, så filmen har en stark vidhäftning. Speciellt är förstoftbeläggningen lätt att kontrollera filmens sammansättning. Genom direkt sputtring eller reaktiv sputtring kan olika legeringsfilmer, sammansatta filmer, flerskiktsfilmer och kompositfilmer med stort område framställas enhetligt. Förstoftningsbeläggning är lätt att genomföra kontinuerlig, automatisk drift och skalproduktion. På grund av användningen av högspänning och gas under förstoftning är anordningen emellertid relativt komplex, och filmen påverkas lätt av förstoftningsatmosfären, och filmavlagringshastigheten är också låg. Dessutom kräver förstoftningsbeläggning beredningen av olika komponenter i målet, lastnings- och lossningsmålet är inte bekvämt, målutnyttjandegraden är inte hög.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, optisk beläggning mahcine, PVD vakuumcoting line.Kontakta oss nu, E-post: iks.pvd@foxmail.com
