Substansen förklaring om vakuum

Substansen förklaring om vakuum

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1. Definition av vakuum

Ett vakuumsystem är en tunn volym gas under atmosfärstrycket i området.

2. Vakuumgrad

Graden av tunnhet i vakuum uttrycks vanligen som "högvakuum" och "lågvakuum". Ett högvakuum betyder bra, och ett lågvakuum betyder dåligt.

3. Vakuumenhet

Vanligtvis används Torr som enhet, och Pa används internationellt de senaste åren.

1 hållare = 1/760 atmosfär = 1 millimeter kvicksilver

4. Överför mellan Tod och pa

1 pall = 133.322 pallar eller 1 pall = 7,5 gånger 10-3 pallar

5. Genomsnittlig fri väg

Det genomsnittliga avståndet som passeras av två på varandra följande kollisioner av gaspartiklar vid oregelbunden termisk rörelse betecknas med symbolen "avgång".

6. flöde

Mängden gas som strömmar genom någon sektion i enhetstid, uttryckt som "Q", i enheter av Pa · L / s (Pa · L / s) eller Torr · L / s (Torr · L / s).

7. Flödesguide

Det är en vakuumrörledningens förmåga att passera genom en gas. Enheten är liter per sekund (L / s) och i ett stadigt tillstånd är rörflödet lika med rörflödet dividerat med tryckskillnaden mellan rörets två ändar. Symbolen heter U.

U = Q / (P2, P1)

8. Tryck eller tryck

Kraften som appliceras av en gasmolekyl per enhetsarea av behållarens vägg uttrycks som P.

9. Standard atmosfärstryck

Tryck på 101325 dain per kvadratcentimeter, symbol: (Atm).

10. Ultimat vakuum

Efter att vakuumbehållaren pumpats fullständigt stabiliseras den vid en viss vakuumgrad, som kallas det ultimata vakuumet. Vanligtvis måste vakuumbehållaren genomgå luftrening under 12 timmar och vakuum sedan under 12 timmar. Den sista timmen mäts var 10: e minut. Medelvärdet 10 gånger tas som gränsvakuumvärdet.

11. Pumpningshastighet

Vid ett visst tryck och temperatur kallas pumpen, eller pumpningshastigheten, den gas som pumpas från pumpens inlopp i enhetstid. Sp = Q / (p-p0).

12. Termoelement vakuummätare

En vakuummätare användes för att mäta vakuumgraden genom att använda termoelementets elektriska potential i förhållande till värmeelementets temperatur och elementets temperatur i förhållande till värmeledningen av gasen.

13. Ioniseringsvakuummätare (varm katodjoniseringsmätare)

Den består av en rörformad kollektorstol, ett galler och ett glödtråd som ligger i mitten av gallret. Den rörformiga uppsamlingspolen ligger utanför gallret. Elektriska joniserade gasmolekyler med heta katodutsläpp uppsamlas av uppsamlaren enligt den uppsamlade jonströmstorleken för mätning av vakuummätarens gastryck.

14. Kompositvakuummätare

Består av en termokopplad vakuummätare och en varmkatodjoniseringsvakuummätare är mätområdet ~ 10-5pa.

15. Kallkatodjoniseringsmätare

Det finns ett par katodplattor vid båda ändarna av anodröret, under verkan av det externa magnetfältet bildas panninutmatning inuti anodröret för att producera joner och vakuummätaren för gastryck bestäms i enlighet med storleken av jon flöde uppsamlat av katodplattan.

16. Motstånds vakuummätare

En vakuummätare som mäter vakuumgraden med hjälp av en brokrets, med principen att värmeelementets motstånd är relaterat till temperaturen och elementets temperatur är relaterad till gasledning.

17. McLeod vakuummätare (komprimerad vakuummätare)

Den gas som skall mätas komprimeras till en mycket liten volym med kvicksilver (eller olja) och jämförs sedan med den vätskeformiga kolonnskillnaden mellan öppet och slutet rör.

18 och B - En mätare

Detta är en varm katodjoniseringsmätare med en kollektorinversion. Kollektorelektroden är en glödtråd, placerad i mitten av gallret, och filamentet placeras utanför gallret, vilket reducerar effekten av mjuk röntgen.

19. Vattenring vakuumpump

Pumphjulet roterar för att producera en vattenring. Det är en mekanisk vakuumpump, pumparluft på grund av periodisk förändring av volymen mellan vattenringen och bladet på grund av rotorns excentricitetsrotation.

20. Roterande vakuumpump

Det är en mekanisk vakuumpump som drar luft genom kolvens fram och återgående rörelse.

21. Oljetätning mekanisk vakuumpump

Mekanisk vakuumpump med olja för att hålla tätningen kan delas in i fast typ, roterande typ, glidventil typ, trochoidal typ och så vidare.

22. Roots vakuumpump

Mekanisk vakuumpump med ett par synkrona höghastighetsrotorer, pumpen kan inte pumpas separat, oljetätning, vattenring och andra vakuumpumpar kan direkt avta atmosfären.

23. Turbo-molekylär vakuumpump

Det finns en höghastighets roterande pumphjul. När gasmolekylerna kolliderar med det höghastighets roterande turbinbladet, drivs de till utloppet och avlägsnas sedan av frampumpen.

24. Oljediffusion vakuumpump

En höghastighetsångström sprutas ut från diffusionspumpens munstycke. Under molekylflödets tillstånd diffunderas gasmolekylerna kontinuerligt i ångflödet och komprimeras av ångbältet till pumpens utlopp steg för steg och uteslutes sedan av den tidigare pumpen.

25. Vakuumpump med låg temperatur

Vakuumpumpen användes för att kondensera adsorptionsgasen på lågtemperaturytan under 20K.

26. Kallfälla (vattenbaffel)

En anordning placerad mellan en vakuumbehållare och en pump för att absorbera gas eller fånga oljeånga.

27. Luftspjällventil

Mekanisk oljetätning vakuumpump på kompressionskammaren för att öppna ett litet hål och sätt på regulatorn och justera volymen när ventilen öppnas, rotorn till en viss plats, passerade detta hål med tryckluftkammare för att minska kompressionsförhållandet, så För att få ut mesta möjliga av ångan kondenseras från pumpens utlopp med blandad gas i ventilens roll kallas gas-ballastventilen.

28. Vakuumfrysningstorkning

Vakuumfrysningstorkning, även känd som sublimeringstorkning. Tanken är att frysa materialet så att vattnet det innehåller blir till is och sublimera isen i ett vakuum för att torka ut.

29. Vakuumindunstning

I vakuummiljö kallas uppvärmning och beläggning av materialet på substratet vakuumindunstning eller vakuumbeläggning.

30. Vakuumtorkning

Det är en metod att torka artiklar genom att använda den låga kokpunkten i en vakuummiljö.

31. Vanligt namn för vakuumsystem

(1) huvudpump: i vakuumsystemet användes vakuumpumpen för att erhålla den erforderliga vakuumgraden för att uppfylla de specifika processkraven, såsom oljediffusionspumpen i vakuumbeläggningsmaskinen är huvudpumpen.

(2) framstegspump: vakuumpumpen användes för att hålla trycket på en vakuumpump vid framsteg under dess kritiska framsteg. En roterblad eller glidventilpump, som i fallet med en rotorpumpe, är en förpump.

(3) grov pump: vakuumpumpen som börjar pumpa luft under atmosfärstryck, och pumpar sedan systemtrycket till en annan vakuumpump för att börja arbeta. Såsom vakuumbeläggningsmaskin i glidventilpumpen är grov oljepump.

(4) underhållspump: I vakuumsystemet är luftvolymen mycket liten och frampumpen kan inte utnyttjas effektivt. För detta ändamål kallas en pump av extra pump för att upprätthålla huvudpumparbetet, kallad underhållspump. Om en liten roterbladspump tillhandahålls vid diffusionspumpens utlopp är det underhållspumpen.