Den huvudsakliga sedimentära processen för PECVD
Oct 18, 2024| Den huvudsakliga sedimentära processen för PECVD
Jämfört med traditionell AP-CVD- och LP-CVD-utrustning har PE-CVD-utrustning blivit den mest använda utrustningstypen vid chiptillverkning av tunnfilmsavsättning. CVD-tekniken spelar en nyckelroll inom många områden på grund av dess flexibilitet och effektivitet vid framställning av olika material och filmer. Tunnfilmsavsättning: CVD används för att deponera olika tunna filmer, såsom amorft kisel, polykisel, kiselnitrid (Si3N4), kiseldioxid (SiO2), etc. Lysdioder och lasrar: CVD används för att tillverka III-V halvledarmaterial i lysdioder och lasrar, såsom galliumnitrid (GaN) och galliumarsenid (GaAs). Fotovoltaiska celler: Vid tillverkning av solceller används CVD för att avsätta tunna filmer, såsom tunna kiselfilmer och zinkoxid (ZnO), etc., för att förbättra den fotoelektriska omvandlingseffektiviteten. Slitstarka beläggningar: CVD används för att avsätta superhårda beläggningar som diamant och kubisk bornitrid (c-BN) för att förbättra slitstyrkan och livslängden för verktyg, formar och mekaniska delar. Korrosionsbeständiga beläggningar: Med CVD kan korrosionsbeständiga beläggningar som titannitrid (TiN) och titankarbid (TiC) avsättas för att skydda metallytor från korrosion. Antireflexbeläggning: CVD används för att förbereda antireflexbeläggning för att minska reflektion på ytan av optiska komponenter och förbättra den optiska prestandan. Filter och vågledare: I optisk kommunikation används CVD för att tillverka enheter som filter och vågledare för att förbättra signalöverföringseffektiviteten. Biokompatibla beläggningar: CVD-teknik används för att avsätta biokompatibla beläggningar som titannitrid och zirkoniumoxid (ZrO2) på ytan av medicinsk utrustning och implantat för att förbättra biokompatibiliteten och hållbarheten. Mikroelektromekaniska system (MEMS): CVD används för att tillverka strukturella material och funktionella filmer i MEMS-enheter, såsom polykisel och kiselnitrid.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com