Kompositionen för beläggningsmaskin för elektronstråle

Kompositionen för beläggningsmaskin för elektronstråle

Elektronstråleindunstningsbeläggningsmaskinen består huvudsakligen av styrsystem, riktigt luftvägsystem och elektronpistolsystem. 1. Det finns två pumpar i vakuumluftvägen för den verkliga luftvägen för elektronstråleindunstningsbeläggningsmaskinen, nämligen den främre mekaniska pumpen och den högvakuumkryogena pumpen, bland vilken den kryogena pumpfunktionen huvudsakligen är genom den mycket låga temperaturen, enligt till den ursprungliga adsorptionen av det kalla paraplyet för att uppnå syftet med vakuum. I processen med högvakuumpumpuppstart vid låg temperatur kommer nivån av mekanisk pump att ligga före rörledningen i vakuumtillstånd, när vakuumledningen når en viss utsträckning kommer lycklig ventil att öppnas, denna nivå innan den mekaniska pumpen fortsätter att arbeta, göra röret och låg temperatur pumpen har ett vakuum tillstånd, då, var en tidigare steg ventilen upprepar ovanstående steg. {{2}}. Elektronstråleuppvärmning och förångningskälla Elektronstrålens förångningskälla består huvudsakligen av elektronpistol och degel. Vid behov kan en uppsättning mekanisk utrustning som kan tillhandahålla råmaterial för beläggningsmaskinen monteras. I de flesta fall kommer styrenheten som producerar och styr elektronstrålen och konstruktionen av degeln integreras i beläggningsmaskinen. Följande är flera strukturer för uppvärmnings- och förångningskällorna i elektronstrålarna. Förångaren värms upp med linjär katod och elektrostatisk fokusering. (2) förångaren värms upp genom ringformig katod och elektrostatisk fokusering. Förångaren värms upp med axialpistol och elektrostatisk fjärrfokusering. Förångaren värms upp med axiell pistol, magnetisk fokusering och magnetisk avböjning 90 grader. E-typ pistolindunstare, E-typ elektronstråleindunstningskälla som släpps ut av elektronbanan liknar 0010010 quot; E 0010010 quot; ord, så det kallas E-pistol. För närvarande används denna form av förångningskälla i vakuumindunstning och beläggningsprocess.

IKS-OPT 2700 optisk E-gun vakuumbeläggningsmaskin，mer information, kontakta:iks.pvd@foxmail.com