Sputtrande jonpump oljefritt ultrahögvakuumsystem
Oct 30, 2023| Sputtrande jonpump oljefritt ultrahögvakuumsystem
Figur 5-15 visar systemets konceptuella diagram. Sputtringsjonpumpen är huvudpumpen och två molekylsilpumpar används som förpumpningspumpar, varav en används för att avlägsna gasen under atmosfärstryck i vakuumkammaren och sputterjonpumpen, och den andra används för att ta bort gasen som släpps ut när bakningen och jonpumpen startas.
▲ Bild 5-15 Sputtringsjonpump oljefritt ultrahögvakuumsystem: 1-vakuumkammare 2-BA vakuummätare 3- Ultrahögvakuumventil 4- ultra -högvakuum slussventil 5-sputtering jonpump 6- högvakuumventil 7- molekylsilpump 8- termoelement vakuummätare
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com