Specifika åtgärder för att eliminera oljeångbakåtflöde i oljediffusionspumpsystemet
May 18, 2022| Specifika åtgärder för att eliminera oljeångbakåtflöde i oljediffusionspumpsystemet:
(1) Öka diffusionspumpens starteffekt för att förkorta tryckövergångszonen när den mekaniska pumpen växlar med diffusionspumpen.
(2) Undvik riskzonen för återflöde (övergångszon) genom att ändra systemets driftprocess och använda ventiler. Till exempel kan en högvakuumventil öppnas med en förutbestämd hastighet, och den kan gradvis öppnas för att säkerställa att gasflödet in i diffusionspumpen är lägre än dess maximala deplacement, och den mekaniska pumpens pumphastighet för att säkerställa trycket på diffusionspumpens framsteg så att diffusionspumpen kan sätta upp arbete. Så vi kan undvika övergångszonen.
(3) Förbättra driftprocessen och justera diffusionspumpens läkande kraft till bästa kraft för att undvika fenomenet att pumpoljeexplosionen kokar; I allmänhet kommer diffusionspumpens återflöde att nå sin topp under uppvärmning och stängning, så högvakuumventilen vid pumpens mynning kan användas för att kontrollera och undvika återflöde.
(4) Lägg till kylfälla med flytande väte eller adsorptionsfälla vid ingången till diffusionspumpen för att fånga upp återflödesoljeångan.
(5) Välj en arbetsvätska för diffusionspump av hög kvalitet
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, E-post:iks.pvd@foxmail.com