Val av vakuummätningsutrustning i olika vakuumområden

Grovt vakuum

Allmänna vakuumapplikationer, vakuummätare av vårtyp (mekanisk elastisk deformationsmätare)

Samtidigt, vid mätning från grovt vakuum till lågvakuum, kan man använda vakuummätare av membran, kapacitiv filmtyp och radioaktiv joniseringsvakuummätare

101325-1000Pa

Frätande gas, kapacitiv filmmätare

Precisionsmätningstillfällen, vakuummätare av U-typ

Låg vakuum

Endast för grov indikering ， Tändvakuumindikator

1000-0.1Pa

I allmänhet termoelement eller vakuummätare

Precisionsmätning, vakuummätare av komprimeringstyp eller tunnfilms vakuummätare

högt vakuum

Den huvudsakliga användningen av joniseringsvakuummätare

10 -1-10-10 Pa

Komprimeringsvakuummätare

Samtidigt krävs det att mäta vakuummätare med lågvakuum och högvakuum, kombinerad vakuummätare med jonisering och vakuummätare med termoelement eller vakuummätare med högt tryck

Vakuummätare för kall katodjonisering för vakuumutrustning med stor urladdningskapacitet och tillfällen med låga krav

  ultrahög vakuum (UHV)

BA- typ av joniseringsvakuum

Från lågvakuummätning till ultrahögvakuum, brett intervall ultrahög vakuummätare eller komposit ultrahög vakuummätare

10 ^-6 -10 ^-10 Pa

Kall katod magnetiskt kontrollerad joniseringsvakuummätare

mycket högt vakuum (XHV)

·

Kall katod magnetiskt kontrollerad joniseringsvakuummätare

U nder   ^10-10 Pa

Varmkatod magnetiskt kontrollerad joniseringsvakuummätare

Förbättrad vakuummätare