Del av beläggning utrustningen

Den moderna strycka består huvudsakligen av vakuumkammare, vakuum förvärv del, vakuum mätning del, power supply del, process gas ingående system, mekanisk transmission del, värme och temperaturmätning enhet, Joniska avdunstning eller sputtring källa och vattenkylningssystem.

1. vakuumkammare

Strycka har framförallt kontinuerlig beläggning produktionslinje och enkammarriksdag bestrykningsmaskin i två former, på grund av mögel beläggning har högre krav för uppvärmning och mekanisk transmissionsdelar och mögel formen, storlek varierar kraftigt, kontinuerlig beläggning produktionslinje är ofta svåra att uppfylla, för att vara begagnad enkammarriksdag bestrykningsmaskin.

2. vakuum förvärv del

På grund av hög vidhäftning kraven i beläggningen av mögel delar, beläggningsprocessen innan bakgrund vakuum är helst högre än 6mPa och vakuum graden kan nå 0.06mPa eller mer efter beläggning är processen klar, så att vakuum är valt rätt sätt är för att uppnå den höga graden av vakuum avgörande.

Fram till nu finns det inte en typ av pump som kan arbeta från lufttrycket till nära ultra hög vakuum. Därför förvärvet av vakuum är inte ett vakuum utrustning och metod kan uppnås, det måste kombineras med flera pumpar, såsom mekanisk pump, molekylär pumpsystem, etc.

3. vakuum mätning del

Det vakuum mätning med vakuum systemet är att mäta trycket i en vakuumkammare. Som en vakuumpump, ingen vakuum mätare kan mäta hela sortimentet av vakuum, och många typer av vakuummetrar görs enligt olika principer och krav.

4. makt leverans del

Målet strömförsörjningen omfattar huvudsakligen DC strömförsörjning och mellanliggande frekvens strömförsörjning; arbetsstycket själv behöver oftast DC strömförsörjning, puls strömförsörjning eller radiofrekvens strömförsörjning.

5. processen ingående gassystemet

Processgas, såsom argon (Ar), krypton (Kr), kväve (N₂), acetylen (C₂H₂), metan (CH₄), väte (H₂) och syre (O₂), vanligen levereras av gascylindern, och sedan passera in i vakuum kammaren genom den gas tryckreducerande ventil, kulventil, pipe, gas flödesmätare, piezoelektriska ventil, magnetventil.

Fördelen med denna ingång gassystemet är att rörledningen är enkel, ljus och lätt att reparera eller byta ut cylindern. Varje bestrykningsmaskin påverkar inte varandra, och det finns också ett antal bestrykningsmaskiner dela en grupp av cylindrar, som kan användas i vissa större beläggning workshops. Det har fördelarna av att minska mängden gascylinder, enhetlig planering, enhetlig layout och nackdelen är att risken för gasläckage ökar på grund av förhöjningen av gemensamt.

Varje bestrykningsmaskin kommer störa varandra och läckage av en bestrykningsmaskin kan påverka kvaliteten på de andra bestrykningsmaskiner. Dessutom när byta cylindern, måste det vara att säkerställa att alla de viktigaste enheterna inte används.

6. mekanisk transmission del

Verktyg beläggning kräver enhetlig tjocklek runt, så måste det finnas tre rotationer i beläggningsprocessen att uppfylla kraven. Det vill säga tabellen stora arbetsstycket är skyldig att rotera, tabellen små arbetsstycket roterar också medan arbetsstycket själv kan rotera samtidigt. I mekanisk konstruktion, den centrala delen av skivtallriken är vanligtvis en stor aktiva redskap, som är omgiven av några små stjärnor hjulet, och sedan gaffeln används för att rotera arbetsstycket att rotera.

7. värme och temperaturmätning enhet

När mögel beläggningsprocessen, att säkerställa beläggning arbetsstycket värmas jämnt är mycket viktigare än värme den dekorativ beläggningen. Strycka på mögel har i allmänhet två värmare, termoelement temperaturmätning och kontroll. På grund av termoelement fixturen för olika inställningar, kan inte temperaturavläsningar vara sant temperaturen av arbetsstycket. För att mäta den verkliga temperaturen av arbetsstycket, kan surface termometern (Surface Thermomeer) användas. Principen om termometern är att när termometern är uppvärmd, botten av våren kommer att värmas upp för att expandera, så att pekaren att främja positionering pekaren rotation tills maximal temperatur. När kyla, våren krymper och pekaren roterar omvänt, men positionering pekaren stannar på högsta temperatur och temperaturen på pekaren läses efter öppnandet av vakuumkammare dörren när vakuumkammare värms, platsen för yta termometern har nått det högsta temperaturvärdet.

8. Joniska avdunstning eller sputtring källa

Avdunstning källa multi arc plätering är generellt cirkulär, allmänt känd som rund kaka mål, under de senaste åren har förekommit många rektangulära multi arc mål, men ingen uppenbar effekt. Målet för rund kaka är monterad på koppar mål sätet (katod säte), vilka båda är anslutna med revbenet. Målet sätet är försett med en magnet, genom att flytta magneten fram och tillbaka, ändra magnetisk fältstyrka, justerbar arc spot rörliga hastighet och bana. För att minska temperaturen på målet och målet innehavaren, lämnas kylvattnet kontinuerligt till innehavaren mål. För att säkerställa hög ledningsförmåga och termisk konduktivitet mellan målet och målet innehavaren, kan tenn (Sn) packningen läggas mellan målet och målet.

9. vattenkylningssystem

För att öka andelen jonisering av metall atomerna, varje katod mål är utdata på en stor makt och måste därför kylas tillräckligt. Många sorters mögel beläggning, värme temperaturen är 400 ~ 500℃, därför på vakuumkammare väggen, försegla ytan kyla är också mycket viktigt, så kylvattnet används bäst i vatten kylaggregatets ca 18 ~ 20℃.

När dörren öppnades, för att förhindra låg temperatur vakuumkammare väggen, katod mål och varmluft kontakt utfällning av vatten, öppna dörren under de första 10 minuterna, kylsystemet bör byta till staten av varmvatten, varmvatten temperatur är ca 40 ~ 45℃.