Jonisk pump
Jun 29, 2022| Jonisk pump
Konstruktion: stark magnet, bikakeanod, titan (Ti) katod.
Princip: Genom sputtering fenomen, gör Ti-jon, Ti-jon kemisk reaktionsaktivitet är hög. Det reagerar med en gasmolekyl för att bilda en förening.
En del av gasmolekylerna accelererar också till katoden efter jonisering, så att katodens Ti sputteras, en del av jonerna in i katoden.
Funktioner:
Ultrahögt vakuum (10-10Pa)
Behöver kombineras med en annan primär avgaspump.
Den har en livstid.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, E-post:iks.pvd@foxmail.com
←
Ett par: Varför är elektronstråleassisterad fysisk ångavsättning en bättre metod för filmavsättning?
Nästa: Arbetsprincip för vanlig vakuumpump
→
Skicka förfrågan