Introduktion av arbetsmetoden för vakuumbeläggningsmaskin

Vakuumbeläggningsmaskinen är ett beläggningsinstrument som behöver arbeta vid högre vakuum. Det är indelat i två typer av förångning och förstoftning.

Förångningsbeläggningsprocessen är i allmänhet värmemålningsmaterialet, vilket medför att ytkomponenterna i målmaterialet förångas med atom- eller jonform och avsätts på substratytan och bildar den tunna filmen genom filmbildningsprocessen.

Sputtering beläggning kan helt enkelt förstås som användningen av elektroner eller högenergilaser för att bombardera målet och göra ytkomponenterna i målet sputtering i form av atomer eller joner och så småningom avsatta på ytan av substratet, bildande av tunn film genom filmbildningsprocessen.

Använd steg:

1. Funktionsmetod för elektromekanisk kontrollskåp för vakuumbeläggning

(1) Öppna vattenpumpen och luftkällan.

(2) Slå på huvudströmmen.

(3) Öppna energiförsörjningen på hållpumpen och vakuummätaren, stället för vakuummätarens position V1, vänta på dess värde mindre än 10, och skriv sedan in nästa operation. Förmodligen behöver fem minuter.

(4) Slå på den mekaniska pumpen, utför förpumpningen, öppna turbolmolekylpumpens strömförsörjning och starta molekylpumpen. Vakuumomkopplaren byts till V2. Efter att vakuumgraden pumpats till mindre än 2, sluta pumpa, och det tar 20 minuter.

(5) När mätningarna av turbinmolekylpumpen observeras att nå 250, är förpumpningen stängd, öppna sedan backpumpen och högvakuumventilerna fortsätter att evakuera. Endast efter att vakuumet når 2 × 10-3 kan strömbrytaren på den elektroniska pistolen slås på.

2. Användning av vakuumbeläggningsmaskin

(1) Slå på huvudströmmen.

(2) Öppna samtidigt strömbrytaren för elektroniska pistolen I och II: enligt den elektroniska pistolstyrningen I-strömmen, fördröjningsströmbrytaren och sedan fördröjningslampan, strömlampan och skyddslampan tänds. Efter tre minuter stängs fördröjningsbelysningen och skyddslampan av. Om bakdörren inte är stängd eller flödesreläet är felaktigt, kommer skyddslampan alltid att vara på.

(3) Öppna högtrycket, högt tryck kommer att nå mer än 10KV, justera strålen till ca 200mA, skärmgallret är 20V / 100mA, filamentström 1,2A, avböjningsströmmen svänger 1 ~ 1.7.

3. Avstängningssekvens av vakuumbeläggningsmaskin

(1) Stäng av mätinstrumentet och molekylpumpen.

(2) När molekylpumpen visar upp till 50 stängs högvakuumventilen, bakpumpen och mekanisk pump i följd. Förmodligen behöver 40 minuter.

(3) När molekylpumpen visar mindre än 50 stänger du hållarpumpen.