Introducera av massflödesregulator

Massflödesregulator (MFC) används för exakt mätning och reglering av gasflödet. Det är vanligtvis sammansatt av flödesgivare, flödesreglerventil, förstärkande styrkrets och shuntkontrollkanal. Dess arbetsströmsförsörjning och flödesdisplay och inställningsoperationer med hjälp av strömförsörjningsströmmarna.

Använd och funktioner

MFC spelar en viktig roll inom vetenskaplig forskning och produktion inom många områden som halvledarmikroelektronikindustrin, specialmaterialutveckling, kemisk industri, petroleumindustrin, medicin, miljöskydd och dammsugare.

De typiska applikationerna innefattar: Elektronisk processutrustning såsom diffusion, oxidation, epitaxi, CVD, plasma-etsning, förstoftning, jonimplantation; och vakuumbeläggningsutrustning, gaskromatografer och andra analytiska instrument.

Massflödesregulator och massflödesmätare med hög noggrannhet, god repeterbarhet, snabb svarhastighet, mjukstart, stabilt och pålitligt arbetstrycksområde (som kan arbeta under högt tryck eller vakuumförhållanden), är operationen lätt att använda. MFC kan installeras i valfri position och är ansluten till datorn för att realisera automatisk styrning.

Flödesmätaren är vanligtvis uppdelad i följande typer:

1. Volymetrisk flödesmätare

Den använder det mekaniska mätelementet för att kontinuerligt dela vätskan i en enda känd volymdel. Vätskans volymflöde mäts i enlighet med antalet gånger av volymen vätska fylld och urladdad en efter en i följd från mätkammaren.

2. Flödesflödesmätare (rotorflödesmätare)

Flödesflödesmätaren är en typ av variabelflödesmätare, i en vertikal kon från upp till nedåt, är den flytande kraftens cirkulära tvärsnitt stödd av flytande kraft, så att flottören kan vara fri i konen Stiga och falla.

3. Differenstryckflödesmätare

Det är baserat på det differenstryck som produceras av flödesdetektorn installerad i röret, tillståndet hos den kända vätskan och mätaren för att beräkna flödet mellan röret och röret.

4. Vortex Street Flowmeter (VSF)

Den icke-strömlinjeformade virvelgeneratorn placeras i vätskan och vätskan är alternerande åtskild på båda sidor av genereringskroppen för att släppa två serier av regelbundet interlaceda vortexinstrument.

5. Turbinflödesmätare

Det är den huvudsakliga typen av hastighetsflödesmätare. Den använder multi bladrotorn (turbinen) för att avkänna vätskans genomsnittliga hastighet, och härledar instrumentet av flödesvolymen eller den totala kvantiteten.

6. Ultraljudsflödesmätare

Det är mätning av flöde genom mätning av effekten av fluidflöde på ultraljudsstrålen (eller ultraljudspuls).

7. Elektromagnetisk flödesmätare

Den elektromagnetiska flödesmätaren är ett slags instrument för att mäta vätskans konduktivitet enligt Faradays elektromagnetiska induktionskod.

8. Termisk massflödesmätare

Sensorn för termisk flödesmätare innehåller två avkänningselement, en hastighetsgivare och en temperatursensor. De kan automatiskt kompensera och kalibrera gasens temperaturförändring. Den elektriska uppvärmningsdelen av instrumentet värmde hastighetssensorn till ett visst värde högre än temperaturen i arbetsförhållandet, så att en konstant temperaturskillnad mellan hastighetssensorn och sensorn vid arbetstemperaturtillståndet bildades. När temperaturskillnaden hålls konstant är energin som förbrukas av eluppvärmning proportionell mot flödet av gasflödet och är lämpligt för mätning av en enda gas och fast andel av multikomponentgas.