Tillverkning och tillämpning av titanaluminiummål för PVD-beläggning

Traditionellt används gjutningsprocesser och pulvermetallurgiska metoder för att producera titanaluminiumlegeringsmål .

Lossa och krympa hål av titan-aluminiumlegeringsmål kan inte undvikas genom gjutning. Storformade titan-aluminiumgjutna rör och ingots kan inte garantera god tätning och vattentät effekt vid framställning av roterande rörmål. Även väggtjockleken minskar när rörets vägg är etsad. Så länge det finns ett hål som är kopplat loss och sinkhole blir förseglingen sämre. Läckaget kommer att orsaka att målröret lyser och släpper ut, eller en stor mängd olika gas deltar i reaktionen, vilket medför att filmen faller av eller fel beläggningsfärg. I svåra fall sprutas vatten in i vakuumkammaren från krymphålet, vilket förorenar det sanna hålrummet och vakuumenheten.

Det finns inga fel att lossa och krympa hålen genom pulvermetallurgi-processen. Emellertid är det även det porösa materialet från mikroskopisk syn på pulvermetallurgi. För att producera ett titanaluminium-roterande rörmål måste materialdensiteten vara större än 98%, men uppfyller densitetskravet betyder inte att den kan användas. Om titanaluminiumbotten har hög syrehalt och orimlig mikrostruktur kan den inte användas för att producera roterande rörmått på grund av den stora interna spänningen. Därför finns det många krav på pulverproduktion och partikelstorleksfördelning. Även om materialet uppfyller alla dessa förhållanden måste pulvermetallurgi titanaluminiumbindningen vara bunden till rostfritt stålrör eller titanrör. På grund av den stora termiska expansionskoefficienten för titanaluminium kan den lokala målmaterialutvidgningen nå 0,5 till 1 m vid förstoftning, så den traditionella bindningsstångsmetoden kan inte effektivt lösa detta problem. Det finns ett fenomen att titanaluminiumbotten separeras och värmeenergin på målytan kan inte utföras och sprängas. Den bindande ingots täta montering är inte tillförlitlig, och kvaliteten på det plasmabelagda titanaluminiumlegeringsmålet är dåligt.

Nyligen kräver klockor, smycken och glasögon industrier rosguld dekorativa beläggningar innehåller inte kol och gör att botten av rosen ligger nära rosenguldfärgen på ytan av beläggningar. Därför har TiCN inte kunnat uppfylla kraven, och TiAlN är den mest perfekta lösningen. Low-end klockor har inte mycket krav på filmtjocklek och glans, så de flesta använder bågtitan aluminiummål för att deponera TiAlN-beläggningen, högkvalitativa märke klockor kräver tjockleken är 1um eller mer med hög glans. Bågan har ingen fördel vid utjämning av filmens tjocklek på grund av droppar. För närvarande är det bästa sättet att använda det roterande rörmålet för att deponera TiAIN-beläggning, färgen på den är närmare rosenguldet och glansen påverkas inte efter att tjockleken har ökat.