Kombinerat ultrahögt vakuumsystem, Sputtering ion pump - Titan sublimationspump set
Sep 25, 2023| Kombinerat ultrahögt vakuumsystem, Sputtering ion pump - Titan sublimationspump set
Bild 5-17 Kombinerat ultrahögt vakuumsystem: 1- vakuumkammare 2- Ultrahögt vakuum slussventil 3- Sputtringsjonpump - Titansublimationspumpgrupp 4- Ultra -högvakuumslussventil 5- köldfälla 6- diffusionspump 7- främre rörledningsventil 8- Ultrahögvakuumrörledningsventil 9- avtappningsventil 10- mekanisk vakuumpump
Bild 5-17 visar en annan typ av kombinerat ultrahögt vakuumsystem. Systemet är lämpligt för vakuumförslutningsugnar, tantalplåtsugnar och annan utrustning. Systemets huvudpump är sputterjonpump-titansublimeringspumpgruppen. Gränsvakuumet för vakuumkammaren kan nå 5×10-7Pa. Systemet är utrustat med en enhet bestående av en oljediffusionspump och en mekanisk pump, som används för grovpumpning och förpumpning som huvudpump, och kan pumpa bort det stora som släpps ut under processen.
IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com