Kombinerat ultrahögt vakuumsystem

Kombinerat ultrahögt vakuumsystem
För vissa vakuumsystem med speciella krav, som de som kräver både ultrahögt vakuum eller oljefritt ultrahögt vakuum och samtidigt tillgodoser behoven av grov pumpning och klarar av en stor mängd gas som frigörs under processen, det kombinerade systemet kan användas för att uppfylla kraven. Figur 5-16 visar det schematiska vakuumsystemet för den oljefria ultrahögvakuumbeläggaren. Huvudpumpen är sputterjonpumpen, som är utrustad med en titansublimeringspump för att förbättra vakuumgraden och ta bort en stor mängd gas som genereras vid förångning av material. Den ultimata vakuumgraden kan nå 6,67×10-7Pa. Molekylsilpumpen används som förpumpningspump för huvudpumpen. Dessutom är systemet också utrustat med en adsorptionsfälla - mekanisk pump grovpumpningssystem, när trycket är högre än 1333Pa, är den mekaniska pumpen inte lätt att returnera olja, vakuum direkt till vakuumkammaren med den mekaniska pumpen, när vakuumkammarens tryck är lägre än 1333 Pa, den mekaniska pumpen genom adsorptionsfällan 9 från bypass-vakuumkammaren.

▲ Bild 5-16 Schematiskt diagram av vakuumsystem för oljefri ultrahögvakuumbeläggning: 1- vakuumkammare 2- spjällventil för ultrahögvakuum 3- Sputteringjonpump {{7} } titansublimeringspump 5- ultrahögvakuumventil 6- avtappningsventil 7- högvakuumventil 8- molekylsilpump 9- adsorptionsfälla 10- mekanisk pump

IKS PVD-företag, dekorativ beläggningsmaskin, verktygsbeläggningsmaskin, DLC-beläggningsmaskin, optisk beläggningsmaskin, PVD vakuumbeläggningslinje, det nyckelfärdiga projektet är tillgängligt. Kontakta oss nu, e-post: iks.pvd@foxmail.com