Bakning - Faktor som påverkar vakuumsystemet
Jul 02, 2018| För bakning För att uppnå tryck i det ultrahöga vakuumområdet ( 10-8 hPa) måste följande villkor vara uppfyllda:
1. Vakuumpumpens ultimata vakuum ska vara mindre än 10 gånger det önskade ultimata trycket.
2. Materialen som används för vakuumkammare och komponenter måste optimeras för minimalt utgasning och det ska ha en lämplig nivå av ytbehandling.
3. Metalltätningar (till exempel CF-flänsanslutningar eller ISO-flänsstandard Helicoflex-tätningar) ska användas.
4. Rengöring är avgörande för ultrahögt vakuum. Alla delar måste rengöras noggrant innan installationen och operatörerna måste ha fettfria handskar när de monteras.
5. Utrustning och högvakuumpumpar måste bakas.
6. Läckage måste undvikas och elimineras innan värmaren startas. För detta ändamål måste en heliumläckdetektor eller en fyrpolig masspektrometer användas.
7. Bakning ökar avsevärt desorptionshastigheten och diffusiviteten, vilket leder till en drastisk förkortning av sugtiden. Som det sista steget i tillverkningsprocessen kan UHV-kamrar nedbrytas vid temperaturer upp till 900 ° C. Den efterföljande bakningstemperaturen kan nå 300 ° C. Pumptillverkarens instruktioner för högvakuumpumpens högsta bakningstemperatur begränsar vanligtvis den maximala temperaturen i arbetet till 120 ° C. Om en värmekälla (till exempel strålningsuppvärmning) används i en vakuumanordning, måste den tillåtna utstrålade effekten observeras.
8. Utrustningen tas i drift efter installationen. Efter att ha nått ett tryck på 10 -5 hPa, sätt på värmaren. Under uppvärmningen opererades vakuummätaren och avgasades per 10 timmar. Om en behållare av rostfritt stål och metallförsegling med lämplig ytbehandlingsklass används, är en bakningstemperatur på 120 ° C och en uppvärmningstid på ca 48 timmar tillräcklig för att nå ett tryckområde av 10-10 hPa.
9. Bakning bör fortsätta tills den når 100 gånger det förväntade slutliga trycket. Stäng sedan av pumpen och vakuumkammaren. Efter kylning kommer det önskade ultimata trycket sannolikt att uppnås. Vid tryck under 5x10-10 hPa är en stor inre yta fördelaktig att använda en gasassocierad pump (titansublimeringspump) som pumpar ut vätet som släpper ut från metallen vid en hög volymströmning.